中古 KEVEX Omicron 952-102 #63742 を販売中

KEVEXオミクロン952-102ウェーハ試験および計測装置は、半導体ウェーハの試験用に設計された精密試験プラットフォームです。半導体製造におけるプロセス開発、特性評価、品質管理プロセスを対象としています。このシステムは、モーター付きウェーハテーブル、サポートハウジング、および高分解能の光学検査顕微鏡で構成されています。ウェーハテーブルは、最大1。5 μ mの精度でウェーハを配置することができます。この光学顕微鏡は、ゲート長やデバイスサイズなどのウェハ表面の小さな臨界寸法や、その他の特徴を2 μ m以上の精度で測定することができます。平面と傾斜面の両方を測定できます。オミクロン952-102ユニットは、非平面表面の測定やアライメント測定に使用できるベクトル測定機能など、さまざまな測定特性を提供します。このマシンはまた、高さプロファイルや表面輪郭などのフィーチャージオメトリを測定するために使用することができるトップダウン表示モードを備えています。CCDカメラで取得したデータをACIS （Advanced Computer Imaging Asset）コンピュータに転送します。ACISコンピュータは画像をデジタル化し、画像処理、分析、保存機能を提供します。ラインパターニングによる汚染、マイクロボイディング、欠陥などの欠陥を検出するために画像を処理することができます。高度なDIA （Digital Imaging and Analysis）ソフトウェアにより、さらに詳細な測定と分析が可能になります。さらに、このモデルは高度な接続オプションを備えており、自動テストシステムに統合することができます。KEVEX Omicron 952-102装置は、半導体ウェーハの試験、測定、分析を行うための汎用性の高い高性能プラットフォームです。幅広いウエハサイズに対応し、試験、計測、欠陥検出にも高精度です。さらに、高度な機能と接続オプションにより、自動テストとプロセス開発に最適なソリューションです。