中古 KEITHLEY / KLA / TENCOR Quantox 64000 #293817480 を販売中

KEITHLEY/KLA/TENCOR Quantox 64000は、半導体業界の精度、信頼性、生産速度を向上させるために設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、14um定格の品質で高精度で再現性のある包括的な検査および測定を提供します。このユニットは、ウェーハ抵抗や応力などの半導体メーカーにとって重要なテストを実行するように設計されています。非常に正確な表面および欠陥解析、均一性マッピング、トレンチマッピング、ベンチマーク解析を提供します。このマシンは、従来の顕微鏡よりも大きなウェーハ表面をスキャンすることができる広い視野を備えています。このツールは、スループットと信頼性を最大化するために、自動化と手動のアライメントを組み合わせて使用します。この組み合わせは、スループット速度を損なうことなく、非常に正確なアライメントとサブミクロンレベルまでの精度を提供します。このアセットには、最大精度で欠陥を検出およびマッピングするためのレイヤースタックイメージングモデルが装備されています。完全に自動化されたマルチフォトセルおよびマルチファイバホイール検査モードにより、品質保証のための迅速で再現性のある正確な結果が得られます。さらに、レーザー光源と散乱光源を組み合わせた統合ポイントスキャン技術により、ウェーハ表面全体で非常に正確なポイント・ツー・ポイント測定が可能です。これにより、ウェハ表面の欠陥、スポット、傷などのバリエーションを高速にプロファイリングできます。この装置は、ロット間の不整合を低減し、不適合チップを迅速かつ正確に検出するように設計されています。また、このシステムはサンプリングサイクルごとに精度を確保し、この機能と自動化されたアライメントを組み合わせることで、高い精度と再現性を必要とするオペレータに最適なソリューションとなります。結論として、KLA Quantox 64000は、高性能な設定、精度、信頼性、速度を提供するように設計された高度なウェーハ試験および計測ユニットです。このマシンは、ロット間の不整合を低減するためにプロセス最適化されたイメージングを提供し、不適合チップを迅速かつ正確に検出します。高精度で自動化されたアライメントにより、あらゆるサンプリングサイクルでの精度が保証され、高精度と再現性を必要とするオペレータに最適なソリューションです。