中古 KEITHLEY 6220 #9111566 を販売中

KEITHLEY 6220は、デバイスのウェーハから正確な測定を行うために設計された高性能、ウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、高精度で自動化されたウェーハハンドラを備えており、正確で反復可能なウェーハの位置決めを可能にします。それは速く、精密なウェーハの配置および用具の位置を提供する十分にプログラム可能な自動段階の動きが装備されています。このユニットは、ウェーハを正確に測定するための統合計測パッケージを備えています。計測パッケージには、高解像度の光学顕微鏡、レーザー干渉計、および精密なウェーハの移動とスキャン機能のためのさまざまな光学レクターが含まれています。測定機能には、高さ、幅、穴の直径、サイドウォール角度のプロファイル測定、反射インデックスおよびライン幅の測定が含まれます。6220ウェーハ試験および計測機械は、熱処理、エピタキシャル増殖、イオン注入、ケミカルエッチング、フォトリソグラフィー、誘電成膜、スペーサ加工など、さまざまなプロセス技術で動作するように構成することができます。このツールには、統合された制御コンソールとテストおよびセンシティブ測定機器が含まれており、プロセス制御および生産歩留まり改善のためのテストおよび計測データ収集を提供します。また、包括的なTEK-CAREデータベースを備えており、ユーザーはテストおよび計測データを保存および比較することができます。このアセットには、ウェーハテストおよび計測時の温度変化をフィードバックするために設定できる温度モニタが含まれています。また、その場で分光を行うことができるため、集積回路の光学特性を測定する分光技術も可能です。最後に、KEITHLEY 6220ウェハテストおよび計測機器で行われるテストは、再現性と信頼性があります。このシステムは、データの精度と再現性を保証する校正ユニットを内蔵して設計されています。これにより、マシンはユーザーに正確な測定を提供することができます。また、エラーや変動を迅速に特定して修正できるため、ツール全体のパフォーマンスが向上します。