中古 JMAR Mirage #9112674 を販売中
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ID: 9112674
ヴィンテージ: 1997
Precision laser measurement system
Automatic 2 position lens shuttle
8" x 4" XY Stage travel
Pentium PC controller
1997 vintage.
JMAR Mirageは、複雑な半導体ウェーハの高品質で迅速な試験を可能にするように設計されたウェーハ試験および計測機器です。高度なレーザー光学、高性能イメージセンサ、高度な画像処理アルゴリズムを使用して、広い領域での動きを持つウェーハ表面を分析します。Mirageは、超精密光学、レーザーベースのイメージングシステム、および光回折ベースの測定を特徴とする高集積検査プラットフォームを採用しています。スケーラブルな8球デュアルビューイメージングユニットは、高バックグラウンド環境でも優れたイメージング機能と光学精度を提供します。カスタムアレイのレーザースポット、高速アライメント機能、7軸オートメーションにより、正確で再現性のある試験および計測を実現します。内蔵の超小型パララックスイメージングサブシステムは、高感度と解像度を提供します。MRT (Morphology Recognition Technology)を使用すると、ウェーハエリア全体で1um程度の表面パターンと特徴を迅速に評価できます。MRTエンジンは、自動光学スティグメータおよびフォーカス機能と組み合わされています。これは、複雑な半導体製品の製造に必要な表面および非均一性の包括的な性能評価を提供します。JMAR Mirageは、SPCICorpのISC (Intersite Control)技術も採用しています。ISCは、その現場の分析ライブラリとアルゴリズムを介してツール複雑なコマンドの統合制御と監視を提供します。直感的なユーザーインターフェイスと連携して、欠陥領域、位置、サイズなど、さまざまな重要な特性をすばやく決定できます。全体として、Mirageはウェーハテストと計測のための包括的で高性能なツールを提供しています。自動化されたモーションコントロールテストと解析を組み合わせた高度なイメージング機能を提供します。レーザー光学、イメージセンサー、差動イメージングアルゴリズム、自動化されたツールコントロールの組み合わせにより、複雑な半導体ウェーハの表面を迅速かつ正確に評価できます。
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