中古 JMAR Mirage #140281 を販売中

JMAR Mirageは、半導体製造の改善に役立つウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、半導体の効率的な試験と計測を容易にするために協力するさまざまなコンポーネントで構成されています。このユニットには、サンプルイメージング用のテレセントリックイメージングオプティクスなどの高度な光学系が含まれています。サンプルの正確なアライメントとスキャンには、高解像度の3軸ステージが使用されます。サンプルは可視光と赤外線を使用して照らされ、反射信号はCCDイメージング検出器を使用してキャプチャされます。また、CCD検出器はサーマルイメージング機能を提供し、より正確な計測を可能にします。計測の面では、Mirageは光学技術と機械技術を統合した高度な3Dスキャナを搭載しており、半導体トポグラフィと顕微鏡の両方の特徴を高速かつ正確に測定します。高度なスキャナは、フィーチャーの高さ、平面性、フィーチャーのサイズなど、形状とダイナミクスを正確にキャプチャします。また、Nano IntutionTMソフトウェアを使用して、サブサーフェスの欠陥や不純物を正確に検出および測定します。JMAR Mirageは、オーバーレイおよびアライメント、CDおよびSEM欠陥測定、膜厚および応力評価、特徴均一性、反り、およびリトレチクルなどの多数の測定機能を備えています。このツールには、インタラクティブなパターン認識、自動欠陥分類、生涯管理などの分析機能も多数搭載されています。全体として、Mirageは効率的なウェーハテストと計測資産であり、半導体メーカーの生産歩留まりの向上と品質の向上を支援します。このモデルは、高い光学分解能、高速取得速度、および多目的な測定および分析ツールのセットを提供します。