中古 INSPECTROLOGY IVS-165 #9390277 を販売中

INSPTROLOGY IVS-165は、高度な半導体技術のための正確で高スループット測定を提供するように設計されたウェーハ試験および計測機器です。モジュール式の非破壊試験法により、サンプル損傷を最小限に抑えた精密な試験結果を得ることができます。このウエハテストおよび検査ユニットは、特許取得済みのXY/ Θステージデザインと高度な光学技術と高度な画像処理技術を組み合わせたものです。XY/ Θステージとエアベアリング位置決め技術を組み合わせることで、高精度な4軸ウェーハ動作を実現します。対物レンズおよび照明源と組み合わせると、最大1。5 μ mの精度でサンプルの特徴の幅、高さ、深さを測定できます。さらに、高速動作により、IC素子の高速測定のために毎秒最大1,000回のイメージングが可能です。IVS-165装置により、SOIやMEMSなどのさまざまな半導体ウェーハの検査が可能です。ウェーハマッピング、ウェーハ欠陥解析、製品品質保証などの用途に最適です。MEMSデバイスの特性評価に使用すると、このツールは最大1 μ mの解像度で個々のレイヤーとその特徴を測定および分析することができます。また、線幅、接触穴、アライメントマーク、さらには最大1。5 μ mの3D構造などの構造を画像化して解析することもできます。エラーとプロセス監視のために、アセットは、ミクロンの半分まで測定するピッティングやボイドなどの小さな欠陥を検出することができます。INSPTROLOGY IVS-165モデルには、便利な画像解析と障害監視のためのソフトウェアツールの完全なセットが付属しています。ソフトウェアスイートを使用すると、リアルタイム測定、堅牢なレポート作成、およびテスト後のデータ分析にアクセスできます。このツールは、自動欠陥特性評価、画像比較、および障害認識を実行できます。さらに、ソフトウェアには、バッチ処理、品質管理レポート、特定の測定の分析などの機能があります。IVS-165は、半導体製造の要求に応えるために設計された、汎用性の高い信頼性の高いウェーハ試験および計測機器です。強力なイメージング機能とモーション機能により、サンプル損傷が少ない高速で正確な測定を提供できます。バンドルされたソフトウェアツールは、欠陥テスト、プロセス監視、製品品質保証に理想的なプラットフォームです。