中古 IMS LVIS-2005 #9144063 を販売中

IMS LVIS-2005は、半導体製造のために設計され、LDR （Light Duty Resolution）試験モデルに基づいた最先端のウェーハ試験および計測機器です。LVIS-2005は、幅広いウェーハ構成を精密にテストするための最先端の機能を提供します。このシステムは、ダイサイズ、ダイアングル、エッチング深さ、プロファイル、ウェハ厚など、さまざまなパラメータを測定できます。このユニットは、光源ベースの非接触計測プラットフォームで動作し、自動、高次、高精度の測定が可能なスキャン機を内蔵しています。このツールは、直径8インチの光学ステージと6軸ステージを組み合わせたもので、ウェーハをターゲット値のプラス/マイナス1ミクロン以内に配置することができます。ステージは、8インチから6インチまでのさまざまなウェーハサイズに対応でき、1ミクロンから5ミリまでのサイズのウェーハサイズに対応できます。IMS LVIS-2005は、高解像度のイメージング資産を持つウェーハ上のさまざまな機能をイメージングすることができます。イメージングモデルには、高解像度CCDカメラ、ソフトウェアの完全なスイート、およびスキャン機器の大規模なコレクションが含まれています。ダイ、ピット、ステップ、ライン幅、および表面形状の高さと寸法を精密に測定することができます。装置には、精度と効率を確保するためのさまざまな試験および計測支援ツールが装備されています。これらのツールには、小型ウェハ用の低コスト検証システム、自動パターン認識ユニット、高解像度オーバースカンマシン、多軸ジョブ多項式回帰ツール、マルチファセットスペクトルテストパターン資産、および制御モデルが含まれます。TheLVIS-2005は、他のウェーハ検査システムと比較して、正確かつ正確なデータを提供することができます。この装置の非接触スキャンシステムは、低負荷分解能測定用に設計されており、さまざまなウエハタイプに幅広い柔軟性を提供します。LVIS-2005は、ハイエンドのウェーハ製造のための高精度の複雑な測定用に設計されています。このユニットは、品質保証と歩留まり管理を容易にする自動計測プラットフォームを提供します。