中古 HIKE VR300DLF #9397726 を販売中

HIKE VR300DLFは、幅広いプロセスノードにわたるマイクロウェーハ特性を正確かつ包括的に把握できるように設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、ダイナミックデジタルイメージングと寸法試験機能を備えており、各ダイの高精度な測定と特性評価を可能にします。さまざまな画像データをリアルタイムで収集・表示し、ウェーハ表面のデジタル画像と関連する性能データを提供します。VR300DLFは、高解像度カメラと2つの大型fiducialおよびダイ認識センサーを使用して、自動ウェハ分析とプロービングを可能にします。この高度なテクノロジーは、どんなに小さなプロセスノードでも、すべてのプロセスノードの欠陥を特定できます。フィジカル認識と金型データを使用して、ウェーハの地図を作成し、高精度で測定を追跡します。また、サブミクロン分解能を備えた高度な高速アライメントツールも備えています。アライメントアセットは、デュアルカメラ比較技術とマルチツールのオートフォーカスを使用して、精度を向上させます。これにより、既存のダイとのより正確なアライメントが可能になり、高欠損密度アプリケーションのコンテキスト内での精度が向上します。HIKE VR300DLFには、幅広い試験方法とパフォーマンスプロトコルがあります。ウェーハ検査、走査型電子顕微鏡（SEM）イメージング、透過型電子顕微鏡（TEM）イメージング、元素特性評価、化学機械平面化（CMP）試験、電子ビーム試験、局所電気試験、X線回折（XRD）マッピングなどがあります。全体として、VR300DLFモデルは、自動化されたプロービングと既存のプロセスノード技術の強化と高度な画像認識、ダイ・アライメント、パフォーマンスプロトコルを組み合わせた次世代のウェーハ試験および計測機器であり、優れた精度と結果の品質を提供します。このシステムは、高い欠陥検出、障害検出、およびオーバーレイアライメント精度が重要なプロセスノードアプリケーションに最適です。