中古 HEXAGON METROLOGY Global Classic SR #9375406 を販売中
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HEXAGON METROLOGY Global Classic SRは、半導体製造および製造プロセス制御の最も要求の厳しい要件を満たすように設計された、高度で信頼性の高いウェーハ試験および計測機器です。直径300mmまでの測定で、精度と歩留まりを向上させる自動機能を備えています。このシステムは、エッジ測定、地形検査、表面粗さデータ解析、欠陥検出などの高度な計測機能を備えています。Global Classic SRは、半導体生産環境に最適化されたソフトウェアとハードウェアのスイートである、市場をリードするHEXAGON METROLOGY Classicプラットフォームを搭載しています。このプラットフォームは、さまざまなプロセス制御要件に対応する複数のソフトウェアパッケージをサポートし、堅牢なデータ処理機能を提供します。このソフトウェアには強力な3Dビジュアライゼーションエンジンも含まれており、オペレータは結果について明確な洞察を得ることができます。このユニットには、標準のウェーハカセットと互換性のある転送ロボットを備えた自動ウェーハハンドリングマシン(WHS)が含まれています。これにより、正確かつ再現性のあるウェーハの取り扱いと配置が可能になります。さらに、このツールは、画像を取得するだけでなく、それらを分析し、保存する可能性を提供します。また、統合されたポイントクラウドとCADモデル比較ツールを備えているため、完成したウェハのバリエーションや欠陥を迅速に検出できます。さらに、HEXAGON METROLOGY Global Classic SRには、六角形の補正ツールと測定ツールセットが含まれています。補正ツールは、データの正確な補正を可能にし、測定精度とトレーサビリティの精度を保証します。Measurement Toolsetは、小さな特徴、高層構造、またはライン上の構造が正確に測定され、ウェーハからキャプチャされることを保証します。Global Classic SRには、包括的な入出力機能も搭載されています。USB、イーサネット、シリアル、FTPなどの外部データハンドリングインターフェイスを幅広く選択できます。この資産は、WindowsやLinuxなどのさまざまなオペレーティングシステムとも互換性があります。さらに、このモデルにはUser-Programmable Report composerが含まれており、簡単にレポートを作成できます。レポートは、電子メールで生成、印刷、または送信することができます。強化された機器診断、アラート、リモート接続は、オンラインおよびオフラインサービスで利用できます。このシステムは、HEXAGON METROLOGYサービスでもカバーされており、最大の稼働時間を確保するためにサービスレベルを選択できます。
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