中古 HEIDENHAIN ND 281B #293643227 を販売中

HEIDENHAIN ND 281B
ID: 293643227
Metrology system.
ハイデンハインND 281Bは、レーザー干渉ベースの技術を使用して半導体ウェーハの局所表面特性を非破壊的に測定するフル機能のウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、表面輪郭、表面欠陥、および表面トポグラフィに関するデータを生成するための長期的な再現性と精度を提供します。ND 281Bは、5nmステップ分解能を備えた500mm x 600mmの高精度な変換ステージを備えており、高い精度と再現性を実現しています。また、サブミクロンの範囲分解能を持つ機内移動ユニットも含まれています。さらに、サブミクロン分解能と高速測定には、最大100kHzの動作帯域幅を持つレーザー干渉計を使用しています。このツールは、あらゆるオブジェクトフィールド範囲と互換性のあるオイルや空気の構成など、さまざまな目的と互換性があります。テストランのために、資産は0。1 mW/cm2まで高輝度の照明を提供します。スキャンと計測のために、このモデルは3つの異なるスキャン方式を提供します。2D-scanning、 3D-scanning、オフセットスキャンで、特定のパターン内で測定することができます。スキャンパターンは、高レベルのグラフィカルなプログラミング言語で生成され、さまざまな物理的レイアウトに簡単に適応できます。さらに、この装置は多層半導体サンプルの試験にも使用でき、高密度デバイスでの標準パルス測定も可能です。システムのソフトウェアは、測定からデータを分析し、解釈するための画像解析、データ要約、および測定ツールの包括的なスイートを提供します。ソフトウェアはまた、追加のデータ分析のための曲線フィッティングなどのグラフィカルな後処理機能を提供します。さらに、このソフトウェアは、入力と出力の両方のための高レベルのデータ通信インターフェースを提供し、既存のシステムやデータベースとの統合が容易になります。全体として、ハイデンハインND 281Bウェーハテストおよび計測ユニットは、半導体ウェーハの局所表面特性を測定するための強力なツールです。その優れたスキャン機能とグラフィカルプログラミング言語により、高密度デバイスを迅速かつ正確に測定できます。また、シンプルなソフトウェアは、包括的な画像解析とデータ集約機能を提供し、さまざまなアプリケーションに適しています。
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