中古 HDI IPS-6000 / SRA-FA #128060 を販売中

HDI IPS-6000/SRA-FAは、半導体ウェーハおよび集積回路（IC）の欠陥や構造欠陥を検査するために設計された高精度の自動ウェーハ試験および計測装置です。このシステムは、電気試験と光学検査の両方の機能を備えており、ウェハの厚さ、平坦度、パターンの直線性、およびその他の重要な特性を迅速かつ信頼性の高い測定が可能です。IPS-6000は、モーションセンサーを内蔵したモジュラー式の多軸設計と、設置とメンテナンスを容易にするためのコンパクトで軽量な設計を特徴としています。このユニットには、スキャン速度、動作範囲、および測定作業中のステージの位置を正確に制御するための高度なモーションコントロールマシンが含まれています。このツールは、連続したシーケンスで複数のウェーハを測定するように構成することもでき、精度とスループットを向上させることができます。このアセットは、高度な光学系と高性能イメージング装置を備えたカメラモデルを使用して、ウェハ全体をスキャンして欠陥や欠陥を検出します。このシステムは、クリーンルームの設置から高湿度環境まで、さまざまな環境で使用できるように設計されています。また、パターンや微細構造の定義を正確に測定するなど、カスタム測定のために再構成するのも簡単です。光学検査ユニットに加えて、IPS-6000にはアナログおよびデジタルインターフェイスの両方の機能を備えた電気試験機も含まれています。これにより、薄膜トランジスタ（TFT）やその他のアクティブマトリックス素子の電気試験や、標準的なウェハレベルの電気性能測定が可能になります。最後に、IPS-6000/SRA-FAには、ウェーハおよび集積回路を包括的に評価するためのFAデータ解析ソフトウェアも含まれています。このソフトウェアには、リアルタイムの欠陥検出、欠陥評価、追跡、プロセス監視など、さまざまな分析機能が含まれています。ソフトウェアは、特定の顧客のための特別なテストや指標のためにカスタマイズすることができ、それは品質保証のための不可欠なコンポーネントになります。