中古 HANRA HRI 580L #9254921 を販売中

HANRA HRI 580Lは、完全に自動化された高スループットレーザー干渉計システムを備えたウェハテストおよび計測機器です。高速、再現性、非接触測定により、処理制御および故障解析に重要な寸法を正確かつ信頼性の高い測定を提供します。統合されたハードウェアおよびソフトウェアコンポーネントにより、迅速かつ簡単な操作が可能になり、ユーザーはデータをすばやく取得し、ウェーハの処理および分析操作において意思決定を行うことができます。HRI 580Lは、ウェーハ上の複数のダイ、小さな部品、および/またはウェーハ上の集積回路の高さ、幅、および/または厚さを測定するために設計されたレーザー干渉計ユニットです。これは、測定領域の全範囲にわたってデータをキャプチャする高速垂直スキャンレーザー干渉計を使用しています。これにより、デバイスは10 nmの微妙な解像度で5。8 mmまでの高さを正確に測定できます。HANRA HRI 580Lは、ソフトウェアを実行し、統合カメラマシンとLSCコントローラを制御するための統合PCを備えています。これにより、取得したデータを素早く設定、測定、分析することができます。洗練されたソフトウェアには、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスと高度な評価ツールが含まれています。表面およびエッジプロファイルの強力な自動評価を提供し、ウェーハ上の小さな部品や表面上の集積回路を迅速かつ正確に測定できます。使いやすさの観点から、HRI 580Lは、表面の自動登録と自動レベリングを備えており、正確な結果が得られます。さらに、包括的なデータアップロード/ダウンロード機能を備えているため、結果を幅広い形式で簡単に表示および保存できます。また、ウエハや部品の目視検査に役立つ統合カメラツールも備えています。全体的に、HANRA HRI 580Lは、そのサイズに対する信頼性と正確なウェーハテストと計測資産です。非接触測定の利点により、ユーザーはデータをすばやく取得し、ウェーハ処理および分析操作において意思決定を行うことができます。また、ソフトウェアおよびハードウェアコンポーネントの広い範囲を提供しており、簡単な操作と正確な結果を得ることができます。