中古 GMTECH Semichem #9395375 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 9395375
Measurement system
IonChem
AnaChem
APM 200
Floormount assembly dimension (W x D x H): 29" x 24" x 75.7"
90mL Measuring cell with mixer motor
RS232
Ethernet
USB
(4) Analog outputs: 20mA
(8) Displayed outputs
(8) Relay contacts for alarms
PLC Handshaking
(3) Digital burettes: 5mL
Start up kit
Manual.
GMTECH Semichemは、ウェーハ表面特性の正確な測定を行うために設計されたウェーハ試験および計測機器です。X線分光法や電子分光法を用いて、線幅やオーバーレイ精度など、幅広いナノメートルスケールの特徴を測定することができます。このシステムは、正確かつ高速であるという利点があり、エンジニアは設計プロセスの有効性を分析するために必要なデータをすばやく取得できます。Semichemは、ウェーハの直径5ミリメートルまでの面積の表面特性を高精度で測定することができます。X線源、X線回折計、X線検出器を含む複数のX線光学システムを使用しています。X線源は、ウェーハ表面の特徴と相互作用するX線パルスを生成し、線幅とオーバーレイ精度を計算するために分析できる回折パターンを作成します。X線検出器は回折をキャプチャし、解析ユニットにデータを送り返します。エンジニアはデータを解釈し、設計プロセスに必要な調整を行うことができます。また、光顕微鏡ウエハ解析も可能です。これには、欠陥の検査、表面地形の検査、薄膜の厚さの決定などの用途が含まれます。このタイプの分析は広範囲の拡大にわたって行うことができ、ウェーハ表面を包括的に見ることができます。顕微鏡画像を使用して測定データ分析を導き、正確かつ有意義であることを保証することができます。GMTECH Semichemツールは、ユーザーフレンドリーで効率的に設計されています。基本的な分光パラメータを含む内蔵の物理ライブラリを備えており、エンジニアは最小限の労力と時間で正確な結果を得ることができます。また、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えているため、ユーザーは厳格な要件を満たすようにアセットを構成できます。このモデルは、X線ソースや光学顕微鏡などの統合計測サブシステムでも利用可能であり、余分なハードウェアを必要とせずに改善された結果を得ることができます。Semichem装置は、半導体設計および生産環境での使用に最適であり、プロセスを導き、改善するために不可欠なデータを提供することができます。その高精度と高速性により、エンジニアは設計を迅速に調整および適応させ、最大の効率、収益性を確保できます。さらに、直感的でユーザーフレンドリーな機能により、あらゆるスキルレベルのエンジニアの使用に適しています。
まだレビューはありません