中古 GEMETEC Elymat III #9137889 を販売中
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ID: 9137889
ウェーハサイズ: 12"
Electrolytical metal analysis tool, 12"
Measurement precision diffusion length: 5% Over 10 repeated measurements
Measurement accuracy diffusion length: 10% Compared with similar techniques
Laser beam scans across silicon wafer immersed electrolytic cell (Dilute HF)
With applied voltage and resulting diffusion current measured
Measurement modes: BPC & FPC
Diffusion current decreases due to partial recombination diffusing carriers
Measuring different laser intensities allows iron to be identified.
GEMETEC Elymat IIIは、ウェーハ検査および製造プロセス制御を強化するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。ウェーハの主要な電気的、物理的、寸法パラメータを正確かつ正確に測定できるため、ウェーハ内の各デバイスを詳細に検査できます。自動化と非接触光学マッピングにより、フルウェーハイメージングとデータ抽出を可能にします。このシステムは高度な単色デジタルイメージングを使用しており、ユーザーに非常に正確な画像解像度を提供します。メカニカルプラットフォームは、さまざまな構成のウェハスキャンを可能にします。150mm、 200mm、 250mm、 600mmなど、幅広いウエハサイズに対応しています。さらに、パターン検査機能を自動化することで、ウェーハ上の印刷フィーチャーを迅速かつ正確に測定できます。Elymat IIIの中核は、高度なグレーティングベースのイメージング技術を使用したカメラユニットです。本機は、ウェーハやその他の材料の特徴を高解像度で測定することができます。また、グリッド、標準セル、高密度構造などの幅広いデバイスをサポートし、電気機器の試験も可能です。このツールのもう1つの重要な特徴は、非接触光学マッピングです。この技術により、フルウェーハイメージングとデータ抽出が数分で可能になり、ユーザーはウェーハ全体を正確に評価できます。また、非接触光学マッピングにより、優れた機能の存在を迅速かつ簡単に検証し、欠陥を検出し、電気結合の問題を特定することができます。GEMETEC Elymat IIIは、ウェーハ上のあらゆる機能の正確で一貫した測定を提供します。抵抗、静電容量、誘電定数など、幅広い電気的および物理的パラメータをサポートしています。このアセットはまた、3D-profile特性評価と汚染モニタリングを提供し、ユーザーはプロセス条件を迅速に最適化し、ウェーハ上の汚染を最小限に抑えることができます。全体として、Elymat IIIは信頼性の高い精度と再現性を備えたウェーハテストと計測機能を提供します。その幅広い機能と非接触光マッピング技術は、ウェーハの検査とプロセス制御を強化するための理想的なモデルになります。
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