中古 FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR FSM 128NT #9257455 を販売中
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ID: 9257455
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2012
Film stress measurement system, 8"
With wafer bow measurement
2D/3D Stress mapping standard
Semi-automated system
With convenient wafer loading and retrieval
2012 vintage.
FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR FSM 128NT装置FSMは、ウェーハ処理を自動化し、複雑なデバイス解析のための信頼性の高い計測データを提供するように設計された完全に統合されたウェーハ試験および計測システムです。このユニットは、高度な光学技術、高度な計測技術、強力なソフトウェアアルゴリズムを使用して、最大128の独立したプロセスステップで大規模なウェーハを分析します。このマシンはまた、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を提供し、新しいプロセス技術だけでなく、既存のものを処理することができます。FSM 128NTは、デュアルビームリソグラフィーオプション、レーザーによる統合テスト/計測、自動ウェーハ検査など、多くの先進技術を備えています。デュアルビームリソグラフィにより、正確なパターニング精度が得られます。また、レーザーによる統合テスト/計測により、デバイスの特性評価のための高分解能を実現します。さらに、このツールには、自動ウェハ検査機能も含まれており、さらに処理する前に欠陥のあるウェハを自動的に検出して分離します。システムの先進的な光学技術には、レーザー回折パターン認識スキャナが含まれており、ウェーハ上に堆積したパターンと浸透していないパターンの両方をリアルタイムで迅速にイメージできます。また、高速レーザーフォトマスク検査ウェハマッピングを備えており、重要な形状の正確なプロービングに使用されます。デジタル画像処理と高倍率オプティクスを使用することで、パターン欠陥の検出と重要な幾何学分析がさらに簡素化されます。FRONTIER SEMICONDUCTOR 128-NTは、3つの高度なウェットベンチ技術も備えています。スピンコーティングモジュール、表面解析を統合したウェットストリーキングモジュール、およびニードル検査ステーション。スピンコーティングモジュールは、ウェハ表面にウェットまたはドライコーティングの層を自動的に分配します。ウェットストリーキングモジュールは、高精度のモーションとハンドリング技術を使用して、堅牢な表面解析を可能にします。ニードル検査ステーションは、ウェーハ上の任意の場所でサイズとパターン認識に基づいて針を検出するために使用されます。最後に、この資産には強力なソフトウェアアルゴリズムが組み込まれており、プロセス弁護士はいくつかのキーストロークでプロセスステップの自動シーケンスを設定できます。ソフトウェアはウェーハの詳細な分析を行い、正確な計測データを迅速かつ確実に提供します。また、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスが組み込まれているため、ユーザーはウェーハプロセスを設定してデータを分析することができます。これらの機能を備えたFSM FSM 128NTは、自動化されたウェーハ処理による信頼性の高い結果を必要とする製造設備に最適なソリューションです。
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