中古 FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR 900 #9293062 を販売中

FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR 900
ID: 9293062
ウェーハサイズ: 8"-12"
System, 8"-12" Integrated metrology chamber Temperature up to 900°C Vacuum / Inert gas purge 2D/3D Stress mapping option.
FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 900は、半導体ウェーハの高速かつ正確な測定を提供するように設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、欠陥検査、フォルト検出、欠陥ローカライズ、容量-電圧(C-V)測定、電気パラメトリック試験など、さまざまなウェーハ計測プロセスに使用できます。FSM 900には、さまざまな構成でウェーハをロードできる自動ウェーハハンドリングユニットが装備されています。本機は、光学プローブと電気プローブを使用してウェーハ表面の欠陥を正確に検出し、検出することができます。また、インラインプロセスモニタリングおよび自動欠陥解析機能も備えています。このツールには、手動手順を使用せずにPick-and-Placeなどのウェーハ処理を可能にするVacuum Load Port (VLP)が装備されています。FRONTIER SEMICONDUCTOR 900には高度なダイボンディングアセットも装備されており、ウェーハ上の金型を手動で接着する必要がありません。また、半導体デバイスの電気パラメータを正確に測定できる高度なC-V測定装置を搭載しています。このシステムは、1秒あたり最大10,000ポイントのC-V曲線を測定および分析する機能を備えています。900はまた、オンチップとオフチップの両方の欠陥の正確な位置を可能にする包括的な欠陥ローカライゼーションユニットを備えています。さらに、ウェーハの高解像度イメージングが可能な高度な光学イメージングツールを搭載しています。このアセットは、適応しきい値や幾何学的形態などの強力なソフトウェアアルゴリズムでウェーハの診断を実行することもできます。結論として、FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 900は、さまざまなウェーハ計測プロセスに使用できます。自動化されたウェーハ処理モデル、ダイボンディング装置、C-V測定システム、欠陥ローカリゼーションユニットを備えています。また、高解像度イメージングのための高度な光学イメージングマシンを備えています。このツールは、半導体ウェーハの正確かつ高速な測定を行うことができます。
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