中古 FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR 500TC #9228364 を販売中

ID: 9228364
ヴィンテージ: 2004
Thin film thickness measurement system 2004 vintage.
FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 500TCは、高精度で効率的に設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。これは、既存の半導体プロセスライン内で簡単に配置し、タイトな統合を可能にする超小型設計を備えています。光学プロファイル測定顕微鏡を搭載しており、4。5nm程度の小型測定が可能です。また、直接ウェハ検査のためのステージも備えています。また、FSM 500TCにはDigital Light Process (DLP)検査モードが搭載されており、ウェーハ表面または結合ウェーハ上の欠陥を迅速に検出および識別することができます。DLPプロセスは、光学イメージングシステムを使用してサンプルを高速でスキャンし、高解像度の画像を提供します。このプロセスは、肉眼から隠れた表面の欠陥を特定するのに特に役立ちます。FRONTIER SEMICONDUCTOR 500TCには、フロントプロービングステーション(FPS)も装備されています。これは、メモリデバイスの検査と向きのための完全に自動化されたユニットです。FPSは、高精度で小さな機能を検出することができ、手動プロービングステーションのほんの一部の時間に正確にデバイスをスポットし、向きを付けることができます。500TCはまた歩留まりを改善し、均等性をもたらすように設計されている高度の単一ウエハのオリエンテーション機械が装備されています。このツールは、リソグラフィ、エッチング、堆積などのプロセス手順の前にウェーハを正確に位置決めおよび整列させます。FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 500TCは、半導体試験と計測のための費用対効果の高い高性能ソリューションです。完全に自動化された診断機能により、追加の品質管理が可能になり、プロセスラインを合理化し、生産歩留まりを確保できます。さらに、高精度で高解像度なため、研究開発と商業生産の両方に理想的なツールとなっています。
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