中古 FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR 500 Series #9293061 を販売中

FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 500シリーズは、半導体デバイスに精密測定を提供するために設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。その主な用途は、さまざまな欠陥を特定して分析するだけでなく、それらを防止し、削減するためのソリューションの範囲を提供することです。システムは、本体、自己検知ステージ、サンプルプローブアーム、さまざまなモジュールとアクセサリーで構成されています。FSM 500シリーズの本体には、電動のXYZステージ、真空ユニット、慣性ボックス、スパッタマシン、および2つのサンプルリフターが装備されています。ステージには25mm x 20mmのスキャン範囲があり、4インチから8インチのウェーハまで、最大8つのウェーハを扱うことができます。真空ツールは、デバイス内のウェーハの安全なマウントを可能にします。さらに、内蔵の慣性ボックスは、正確なサンプル配置と向きを可能にします。スパッタアセットは、高貴なガスを使用して酸素の薄膜を生成し、ウェーハの最適化されたテストを可能にします。FRONTIER SEMICONDUCTOR 500シリーズのアームはX、 Y、 Z軸に沿って動き、それぞれ20mm、 140mmの範囲で動作します。これらは、摩擦を最小限に抑えるために動的および静的な補償プリロードモデルの設計原理に準拠しています。アームには、表面接触を低減するエアベアリングも装備されているため、摩耗が少なく信頼性の高い操作が可能です。500シリーズのモジュールおよびアクセサリには、石英加工ステーション、イオンミリングシステム、およびウェハマッピングシステムが含まれます。水晶処理ステーションは、エッチング、蒸着、表面活性化、およびその他の様々な化学表面処理を行うために使用されます。イオンミリング装置は、正確な欠陥解析とイオン注入を可能にします。ウェーハマッピングシステムは、正確なレーザーユニットを使用してウェーハの正確な位置を測定します。FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 500シリーズは、半導体デバイスに精密測定を提供するように設計された先進的なウェーハ試験および計測機械です。本体、セルフセンシングステージ、サンプルプローブアーム、さまざまなモジュールやアクセサリーを備え、さまざまな欠陥を迅速かつ正確に特定して分析することができます。