中古 FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR 128NT #9311397 を販売中

FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 128NTは、エンドツーエンドのプロセス機能を提供するように設計されたウェハテストおよび計測機器です。このシステムにより、チップメーカーは歩留まり損失の潜在的な根本原因を特定し、プロセス条件を改善することができます。FSM 128NTには、さまざまなハードウェア、ソフトウェア、計測ツールが含まれています。このユニットは、空気圧制御の機械的ステージを使用して、直径8インチまでのウェーハを処理し、平坦性と傾きを微調整することができます。ステージは、焦点イオンビーム、故障解析、光学検査、導電性原子力顕微鏡、その他のプロービング技術など、さまざまな種類の試験および計測システムと互換性があるように設計されています。また、1°C〜300°Cの調節可能なチャック温度範囲を備えたマルチチャネルフローティングチャックを備えており、様々な材料やプロセスを試験する際に柔軟性を発揮します。また、ダイマップジェネレータにより、ウェハマップの選択、編集、保存が簡単に行えるほか、サンプル位置認識ツールも搭載しており、より高い精度で迅速なサンプル処理が可能です。付属の計測資産には、さまざまなレーザー干渉法を使用してパターン化された特徴を測定し、エッチングの深さ、CDの均一性、およびその他のパラメータを決定することができる統合された光学計測モデルがあります。FRONTIER SEMICONDUCTOR 128-NTは、複数のテストおよび計測チャネル間で検出および追跡するためのデータ相関も提供します。これにより、各ステージでキャプチャされたデータが適切に相関し、時間の経過とともに追跡できるようになります。この機器はまた、特定の生産ライン要件を満たすように設計できる拡張性の高いプラットフォームを備えています。これにより、個別のウェーハテストと計測システムの必要性が低減され、ユーザーは必要に応じてシステムをカスタマイズして再構成することができます。128NTは包括的なウェーハテストおよび計測ユニットであり、最高レベルの歩留まりと性能を達成するために必要なツールと機能を提供します。ハードウェア、ソフトウェア、計測ツールを組み合わせることで、研究開発や生産レベルのアプリケーションに最適です。