中古 FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR 128 #9188871 を販売中

ID: 9188871
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2005
Stress measurement system, 6" FSM Stress gauge 2005 vintage.
FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 128装置は、半導体ウェーハ上のさまざまなデバイスを測定および検証するために使用されるウェーハ試験および計測システムです。ウエハマッピング、プロセス制御、および集積回路およびオプトエレクトロニクスコンポーネントの歩留まり管理のための高分解能、自動化、堅牢なソリューションを提供します。このユニットには、モータードライブとポジションセンサー、ウェハステージ、複数のウェハホルダー、光学顕微鏡、LED検査光源、および画像キャプチャおよび解析ソフトウェアが統合されたスキャンアームアセンブリが含まれています。高速スキャンアームと複数のウェハホルダー構成により、最大12個のシングルサイズのウェーハまたは4×2のダブルサイズのウェーハを同時に収容できます。統合された顕微鏡には、アライメント検出と画像キャプチャ用のLED照明を備えた高解像度の被写界深度光学が含まれています。標本のサイズは4mmから200mm両軸の1ミクロンまでの正確さの範囲できます。画像を8ビットまたは24ビットのRGBカラーで表示して視覚化することができます。画像解析のために、機械は複雑な構造を正確に測定し、分析するためにさまざまな測定およびアルゴリズムを使用します。欠陥検出や可視性の向上のための高度なアルゴリズムを選択した領域に適用して、さらなる分析を行うことができます。コントラスト調整、カラーリダクション、エッジ検出、マスキングなど、さまざまな画像フィルタリング技術もサポートされています。このツールは、統計情報や診断情報など、ウェーハの状態を詳細に把握するための包括的なレポート機能を提供します。また、複数の基準に基づいた欠陥のソートや再ターゲティング可能な欠陥マップなど、さまざまな後処理およびデータ分析機能も含まれています。全体として、FSM 128アセットは、自動化された生産プロセスやチップ開発で使用するために設計された汎用性と高性能なウェーハ試験および計測ツールであり、ウェーハの状態の詳細な分析とレポートを作成することができます。高解像度の光学顕微鏡とLED光源を組み合わせ、高度なイメージングと解析機能を備えているため、現代の半導体技術にとって重要な要素となっています。
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