中古 FOUR PROBES TECH RTS-8 #293624729 を販売中
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ID: 293624729
ヴィンテージ: 2016
Resistivity measurement system
4-Point probe
Resistivity: 10^-5 - 10^5 Ωcm
Rectangular wafer resistance: 10^-4 - 10^6 Ω
Conductivity: 10^-5 - 10^5 s/cm
Poly diameter:
Type S-2A: 140 mm X 150 mm
Type S-2B: 200 mm X 200 mm
Type S-2C: 400 mm X 500 mm
2016 vintage.
FOUR PROBES TECH RTS-8は、半導体およびその他の関連産業における水平および垂直のウェーハ試験用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムには、層厚測定、接触抵抗試験、表面形態解析、材料組成解析、デバイス漏れ電流測定など、さまざまな測定を可能にする4つのプローブが装備されています。また、4プローブユニットと統合することができます電気および光学テストツールの包括的なスイートを提供しています。このマシンは、さまざまな機械的および操作的機能を提供します。X、 Y、 Z面で最大100mmの移動範囲を持つ高精度の4軸ウェーハステージと、± 10°までの傾き範囲を備えています。ステージは水平方向と垂直方向の両方でモーター駆動が可能で、全範囲の速度制御が可能です。プローブヘッドはスライドレールに正確に取り付けられ、再現性と正確なサンプル位置決めが可能です。また、サンプル表示およびアライメント用の高性能ガラス顕微鏡も含まれています。このツールには2つの独立した4プローブ測定カードがあります。シート抵抗測定などの高精度な測定用の1チャンネルカードと、4 GHzの帯域幅までの並列測定用の4チャンネルカードです。どちらのカードも、オートゼロ、オフセット、ゲイン、ローパスフィルタなど、さまざまな信号調整機能を備えており、精度と再現性を高めています。また、最大16個のプローブを同時に制御することができ、小さなサンプルのマルチポイント測定が可能です。このアセットには、CCDカメラ、明るいフィールド照明器、偏光顕微鏡、カラーイメージングモデルなど、イメージングおよび分析用の高性能光学セットが装備されています。また、最大50MHzのリアルタイムサンプリングレートを提供し、最高の精度と再現性を備えた迅速な測定を可能にします。また、グラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を含む包括的なソフトウェア開発キット(SDK)と、いくつかのプログラム可能なAPIも備えています。SDKは、システムの機能への拡張アクセスを提供し、ユーザーはプロジェクト要件に合わせたカスタムソリューションを作成することができます。RTS-8は、半導体および関連産業の最も要求の厳しい要件を満たすように設計された堅牢で信頼性の高いウェーハ試験および計測ユニットです。ウェーハテスト、層厚測定、接触抵抗試験、材料組成解析、デバイス漏れ電流測定などのツールと機能の完全なセットを提供します。本製品は、光学系、4プローブ測定カード、リアルタイムサンプルレート、および包括的なSDKを内蔵しており、正確で信頼性の高い結果を提供することができ、ユーザーは自信を持って製品を開発し最適化することができます。
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