中古 FOUR DIMENSIONS FPP 100 #9123948 を販売中

ID: 9123948
Manual prober.
FOUR DIMENSIONS FPP 100ウェハテストおよび計測機器は、特殊なハードウェアとコンピュータソフトウェアを組み合わせて、ナノメータスケールでウェハーやその他の材料の特性を測定する汎用性の高いデバイスです。このシステムは、欠陥検査、厚さ測定、表面地形、および臨界寸法(CD)測定などのタスクを実行することができます。FPP 100は、高解像度顕微鏡、洗練されたスキャンステージ、および異なる基板に簡単に最適化できる測定プラットフォームで構成されています。FOUR DIMENSIONS FPP 100の中心には、ユニットのバックボーンであり、自動化されたスイッチングマシンを備えた高解像度顕微鏡があります。顕微鏡は2つの異なる倍率を素早く切り替えることができ、ウェハ全体を迅速かつ効率的に検査することができます。さらに、この顕微鏡は、長距離分布を適切に評価するのに十分な明瞭さを備え、最大+/-0.5µm分解能で画像を提供します。ウェーハの表面形状を正確に測定するために、FPP100はXYZスキャンと呼ばれる洗練されたスキャンステージを利用しています。このツールは、x、 y、およびz方向のウェーハの正確な動きを可能にし、地形が微細な単位で正確にサンプリングされるようにします。さらに、スキャン資産は、駆動力が低いままにするために比較的低い倍率を使用するため、測定中の損傷のリスクを低減します。最後に、FOUR DIMENSIONS FPP 100は、洗練された測定プラットフォームを備え、ウェハの横方向および縦方向の特性を正確かつ効率的に測定することができます。darkfield/brightfield visual inspection、透過電子顕微鏡(TEM)、分光楕円測定などの特殊なツールを搭載しています。特殊なアルゴリズムを用いて欠陥検査を行うことも可能です。要するに、FPP100ウェーハテストと計測モデルは、洗練されたハードウェアとソフトウェアを使用してウェーハやその他の材料の特性を測定する強力なデバイスです。FOUR DIMENSIONS FPP 100は、特殊なイメージングおよびスキャンシステムを使用することにより、ウェーハ表面の地形、厚さ、および重要な寸法を正確に測定することができます。また、各種測定・検査技術を搭載しており、ナノメートルスケールの様々な測定作業に対応できる汎用性の高いツールとなっています。
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