中古 FOUR DIMENSIONS 280 #9276884 を販売中

FOUR DIMENSIONS 280は、高度なウェーハ試験および計測機器です。トポグラフィ、オーバーレイ、ライン幅、マイクロ欠陥解析、リソグラフィ、欠陥レビューなどのウェハ特性を正確に非接触で測定できます。280システムは高速ウェーハ計測用に設計されています。モジュラー設計により、マルチビーム光学ヘッド、マルチリフレクター光学、高解像度イメージング機能により、最も厳しい測定要件に対応できます。ライン幅を測定する場合は最大0。1ナノメートル、オーバーレイを測定する場合は最大1ナノメートルの精度を実現します。自動化されたスキャンパターンにより、再現可能な測定結果が保証されます。機械の高度な計測機能は、その高度なソフトウェアによってさらに強化されています。これには、光学データとSEMデータを1つのレポートに結合する相関測定のためのプログラムと、Zプロファイリングやオートフォーカスなどのツールを備えた高度なエラー分析が含まれています。この高度な機能により、計測プロセスが高速化され、測定精度が向上します。FOUR DIMENSIONS 280ツールはSPCシステムとのシームレスな統合も特徴で、オペレータは仕様に対して迅速にウェーハを評価し、必要な修正を行うことができます。グラフィカルなユーザーインターフェイスにより、オペレータはアセットを使用して目的の測定結果を簡単に取得できます。さらに、このモデルの高度なアラーム装置は、オペレータが重要なプロセス変数を監視し、逸脱の場合には是正措置を講じるのに役立ちます。280は、高精度で高解像度のイメージング機能を備えた自動ウェハテストに最適です。モジュラー設計により、さまざまなウェハテスト要件に対応でき、堅牢な計測機能により、正確で再現性の高い測定が可能です。システムの高度なソフトウェアと直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスにより、操作者の生産性を使いやすくし、最大限に高めます。FOUR DIMENSIONS 280は、複雑なウエハ特性を解析するための効率的で信頼性の高い計測ユニットです。