中古 FISCHER Betascope #9246202 を販売中
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FISCHER Betascopeは、FISCHER Instrumentsのウェハテストおよび計測機器です。薄膜およびウェーハ計測に関連するさまざまなパラメータを測定および分析するように設計されています。高解像度の光干渉計と、1ナノメートル未満の測定精度の中央値を持つ光検出器の利点を提供します。ウェーハ表面には、層の厚さ、表面平坦度、フィーチャージオメトリ、汚染物質など、さまざまな特徴を検出することができます。このユニットは、ウエハ表面の形状やその他の特徴を検出するための高度なアルゴリズムを採用しています。また、ダークフィールドイメージング、明るいフィールドイメージング、コントラストイメージング、光学プロービングなど、さまざまな照明方法を利用しています。この機械には、入射光から干渉パターンを測定してウェーハ表面の特性を測定するために使用される光回折ユニットが含まれています。このツールには、画像の強化と自動解析のための画像処理ソフトウェアが含まれており、リアルタイムで行うことができます。また、非接触表面層測定、非接触形状解析、非接触数値解析、高度なダイツダイ表面フィーチャー測定など、幅広い計測オプションを提供しています。このアセットは、歩留まりを改善するためにウェーハ上の3次元フィーチャーの特性評価にも使用できます。さらに、このモデルには、ウェーハ上の欠陥やその他の表面異常を検出するための強力な自動目視検査装置が含まれています。このシステムには、ロボットアームとジャイロスコープを内蔵した自動ウェハハンドリングユニットも含まれています。これにより、ウェーハ上の任意の点に自動的に移動することができ、サンプルの特性をテストする際に精密で反復可能なモーションコントロールを提供します。FISCHER Betascopeツールは、データ収集、保存、処理、およびレポート作成のためのさまざまなオプションを提供します。アセットのユーザーインターフェイスは使いやすく、お客様の特定のニーズに合わせてカスタマイズできます。収集されたデータは、ウェーハの物理特性と性能の分析、最適化、品質管理に使用できます。
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