中古 FILMTEK 1500 #9358520 を販売中

FILMTEK 1500
製造業者
FILMTEK
モデル
1500
ID: 9358520
SCI Film thickness and reflectivity measurement system.
FILMTEK 1500は、正確で正確で信頼性の高いウェーハ特性評価用に設計された最先端のウェーハ試験および計測システムです。包括的なウエハハンドリング機能と直感的なソフトウェアを備えた1500は、高度な半導体アプリケーションにとって不可欠なツールです。FILMTEK 1500は、ウェハの平坦度、厚さ、ワープなどの特性を評価し、さまざまな試験および計測目的に対応します。ウェーハをカセットからマウントステージに持ち上げて移動させるロボットアームを備えており、ウェーハの平坦度、歪み、厚さを測定します。その後、ウェーハの表面安定性を確認するために、ウェーハをビジョンシステムに転送します。1500はまた裏側の薄くなることおよびCMP関連のテストの評価のための解決を提供します。裏面薄型化の有効性と安定性を分析し、CMPプロセス関連の試験も行うことができます。このツールを使用すると、プロセス時間/圧力/温度、平面度、粒度、気孔率/粗さなど、CMPプロセスのさまざまな特性を分析できます。FILMTEK 1500には直感的な測定ソフトウェアが付属しているため、ユーザーはさまざまなリアルタイム操作を簡単に制御できます。また、各ウェーハで測定するさまざまなテストパラメータとオプションにアクセスできます。システムの自動校正機能により、ユーザーは測定がテスト中のウェーハの真の値を正確に反映していることを確認でき、設定を手動で調整する必要がありません。1500はまた生産環境の信頼できる操作のために設計されています。堅牢なロボットアームは、ウェーハの取り扱いと搬送において優れた再現性と品質保証を提供します。FILMTEK 1500の世界クラスの試験および計測機能により、ユーザーは精密測定と優れた再現性でウェーハの品質と性能を向上させることができます。
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