中古 FILMETRICS Profilm 3D #293622627 を販売中

ID: 293622627
Thickness measurement system Optical profiler with VSI Autofocus 4-Position turret Auto stage, 100 mm x 100 mm Profilm data acquisition Vibration isolation: Accurion Nano30 Objective lens: 10x NIKON Mirau Interferometric 50x NIKON Mirau Interferometric.
FILMETRICS Profilm 3Dは、ユーザーが厚くて薄い膜厚、蒸着速度、統合ストレスなどを測定できる自動ウェーハ試験および計測機器です。このシステムは広い視野を持ち、最大8台のウェーハに対応できます。2Dイメージングユニットを使用して、フィルムの地形の高解像度画像をキャプチャし、表面の3Dマップを生成します。この地図を解析して膜厚を計算し、精度は最大4ミクロンです。また、成膜率、屈折率、集積応力などのフィルム特性も測定します。クローズドループ・フィードバック・ループにより、自動蒸着最適化のためのリアルタイム・フィードバックが可能です。Profilm 3Dツールは使いやすさのために設計されており、ユーザーがプロセスを測定、分析、最適化するのに役立つ包括的な制御、測定、分析ソフトウェアが付属しています。このソフトウェアには、データを保存および分析するための統合データベースと、データ分析パラメータにアクセスして管理するためのグラフィカルユーザーインターフェイスが含まれています。この資産には、ユーザーに有意義な結果を提供するための自動レポートも付属しています。レポートには、データの平均、グラフ、ヒストグラムが含まれ、画面上で表示され、ファイルにエクスポートできます。さらに、モデルセットアップウィザードを使用すると、一連のステップで構成が容易になり、ユーザーは機器を迅速に構成して最適なパフォーマンスと精度を得ることができます。FILMETRICS Profilm 3Dシステムは、半導体、医療、太陽光発電、光学産業でさまざまな用途を持つウェーハの試験および計測に最適なソリューションです。高精度、反復可能な結果、使いやすさのため、Profilm 3Dユニットはあらゆるオートメーションマシンに最適です。
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