中古 FILMETRICS F50R #9396056 を販売中

FILMETRICS F50R Wafer Testing and Metrology Equipmentは、サブミクロンレベルのウェーハ上の薄膜パターンの非接触、非破壊形式測定を印象的な精度で実行するように設計された、高度な半導体装置です。レーザーベースの高精度オプティカルセンサーを使用して、測定されたウェーハ表面を迅速にスキャンし、不完全な平坦性とウェーハ曲率によるモーションエラーを補正します。強力な電動XYZステージは、一貫したスキャンのための安定したプラットフォームをさらに保証し、結果の信頼性を向上させます。付属のソフトウェアであるFJX-Scanは使いやすく、包括的なデータ分析とレポート機能を提供します。線幅、厚さ、地形、高さ、傾斜角などのウェーハ上の特徴を測定するために構築されています。このソフトウェアの高コントラスト画像処理アルゴリズムは、多層薄膜の正確な厚さ測定も可能です。さらに、このシステムには、標本の識別とトレーサビリティを支援するスナップショット画像用の統合カメラが装備されています。このユニットのコアオプティクスは、半導体グレードの顕微鏡レンズと、波長と電力の両方で調整可能な調整可能なレーザダイオードモジュールで構成されています。120 mmの視野と高速スキャン速度（最大44 μ m/s）を備えたF50Rは、ハイスループットアプリケーションに最適です。最大50倍の倍率設定が可能で、精度が重要な産業用途での測定精度の向上を実現します。FILMETRICS F50Rの他の注目すべき機能には、自動ピクセルサイジング、統合された2Dステッチ、ピーク検出アルゴリズムがあります。マシンの機能の多くは、付属のフロントパネルのコントロールパッドから制御することができますが、ユーザー定義の校正データなどのより高度な機能の一部は、外部デバイスを介して制御することができます。ツールの寸法は335 x 389 x 309 mmで、コンパクトで多くの異なる作業環境に適しています。全体として、F50Rは、正確で効率的なウェーハテストと計測のための包括的で費用対効果の高いソリューションです。その信頼性の高いパフォーマンス、自動化された制御、およびデータレポート機能により、あらゆる産業用アプリケーションや研究用アプリケーションに最適です。