中古 FILMETRICS F50 #9396057 を販売中
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FILMETRICS F50は、さまざまな薄膜アプリケーションで使用するためのウェーハ試験および計測機器です。これは、薄膜特性の広い範囲のテストのための高速かつ精度を提供します。このシステムは、薄膜反射分光法や楕円法などの高度な技術を利用しています。FILMETRICS F 50の薄膜反射分光法(TFRS)機能は、薄膜の厚さ測定で1マイクロメートル以下までクラス最高の精度を提供します。広範囲の波長にわたって迅速で非接触解析を提供し、0。1%以上の精度で薄膜厚を測定できます。このレベルの精度は、オンウェーハの散乱やトランスミッションなど、他の技術よりも複数倍も優れています。さらに、F50は、屈折率や薄膜厚などの薄膜パラメータを測定するためにエリプソメトリーを使用しています。ガラス、ポリマー、金属など、幅広い薄膜用途に適しています。このユニットは、非輸送および部分的に透明である薄膜特性を測定することができ、異なる材料に拡張ユーティリティを提供します。F 50は、高信号対ノイズ比、高速スキャンレート、および高解像度を提供し、小さな機能の分析を実現します。また、環境障害時に最適化された信号対ノイズ比と完璧なスキャン性能を実現するための正の圧力環境も組み込まれています。データ取得速度により、1秒間に最大500スペクトルを取得でき、リアルタイムのデータ分析が可能です。このツールは、0。2mm2から840mm2までの範囲をスキャンし、最高レベルの校正基準に従って動作します。FILMETRICS F50は汎用性の高い資産であり、薄膜成膜プロセスの均一性と安定性の評価、シート抵抗、光学特性、誘電定数の測定など、さまざまな作業に使用できます。最小限のオペレータ入力で最適な精度、速度、信頼性を提供します。
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