中古 FILMETRICS F20 #9316076 を販売中
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ID: 9316076
Thin film analyzer
Regulated tungsten-halogen lamp
Wavelength range: 400 nm to 1,000 nm
15nm - 70µm
380 - 1050nm
Light spot size: ~1.5 mm
Film thickness range: 150 A to 50 µm
Film thickness range for measuring N and K: 1000 A to 5 µm
Accuracy: >0.4% / 10 A
Precision: 1 A
Stability: 0.7 A.
FILMETRICS F20高速、高精度のウェーハ試験および計測システムは、広範囲のアプリケーションで正確な測定を可能にする包括的な一連のテストを提供します。FILMETRICS F 20は、高周波の共焦点イメージングを利用して材料の3次元物性を正確に測定し、薄膜の厚さ、組成、その他の光学パラメータなどの用途で精密な解析を可能にします。高度なハードウェアとソフトウェアの組み合わせにより、半導体ウェーハからクリーンルーム光学まで、あらゆるサンプル表面の複数の領域を迅速に測定でき、迅速かつ正確に分析できます。F20は高速、精度、精度に最適化された強力な高速イメージングスキャナーモジュールで動作します。その3D機能は、ステップハイトと傾斜角度を測定するための定量的なマッピングレベルの精度を提供します。業界をリードするスキャン速度と組み合わされたF 20の高精度は、リアルタイムのプロセス制御に理想的であり、あらゆるプロセス工程の非常に正確な分析を可能にします。FILMETRICS F20の高解像度3次元トポグラフィーマップは、各サンプル領域の高解像度の垂直画像と低解像度の横画像を組み合わせて作成されます。ソフトウェアは常にスキャン中に収集されたデータポイントを比較し、標準値と比較して最適な設定を維持するためにそれに応じてパラメータを調整するために使用されるフィードバックを提供します。同時に、ステップやエッジプロファイルなどの線形フィーチャーが自動的に抽出されハイライトされ、ピクセルレベルで直感的かつ迅速にサーフェスを表示できます。イメージングスキャナモジュールに加えて、FILMETRICS F 20には、光学・蛍光分析装置、高度な分光光度計、画像解析・校正モジュールなど、さまざまなモジュールで構成される強力な統合測定プラットフォームが装備されています。Advanced Spectrophotometerは、広範なサンプル試験機能を提供するだけでなく、エレクトロルミネッセンス、OLED特性評価、CdSe/ZnO薄膜測定などのアプリケーションに強力なデータ分析を提供します。このシステムには、クリーンルームから実験室まで、あらゆる環境で動作することを可能にする高精度の校正メカニズムも装備されています。F20は、業界に革命をもたらしたウェーハテストと計測技術を可能にします。強力なハードウェアと直感的なソフトウェアにより、システムはこれまでにないレベルのパフォーマンスと精度を提供します。
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