中古 FILMETRICS F20-UVX #293646420 を販売中

FILMETRICS F20-UVXは、ウェーハまたは基板上の薄膜サンプルの特性評価のための精密試験および計測を提供するように設計された高精度の自動装置です。紫外線から可視光スペクトルなどの長波長までの反射、透過、吸収、屈折率などの光学特性を測定できます。F20-UVXには、高精度のサンプル位置決めを備えたロボットインデックスステージ、自動ウェハマッピングなど、自動テストと計測機能が含まれています。また、広範囲および狭いビーム測定、プッシュブロムアレイ照明、MTF-MapperTM散乱測定などの複数の光学構成オプション、および自動化されたプロセス制御と精密データ収集を容易にする高度なプログラマビリティ機能も備えています。FILMETRICS F20-UVXには高解像度のXYZガントリーステージがあり、サブミクロンスケールのサンプル測定精度を実現するためにウェーハを微調整することができます。また、統合された高速ワイドフィールドイメージングシステムを搭載しており、ウェハ全体にわたるさまざまな光学特性性能を正確に特徴付けることができます。このユニットは、高速過渡現象をキャプチャすることができ、LED、広いビームおよび狭いビームイルミネーションリグを含む多彩な照明機器は、さまざまな試験目標を満たすように柔軟に構成することができます。また、自動化された薄膜厚マッピングマシンへの直接接続を提供し、総計測機能を可能にします。F20-UVXはデスクトップ操作のために設計されています、使いやすさおよび維持を可能にします。ラボ環境と生産環境の両方で設計されており、最も一般的な薄膜システムとのインタフェースが可能であるため、効率的なデータ取得とレポート作成が可能です。また、自動レポートジェネレータも備えており、テスト結果の解釈に必要な時間と労力を削減するのに役立ちます。全体として、FILMETRICS F20-UVXは、自動化された機能と幅広い測定機能を備えた高度なウェーハテストおよび計測ツールです。ウェーハおよび基板上の薄膜コーティングの特性評価に最適で、プロセス制御および研究目的のための正確で包括的なデータを提供します。