中古 FILMETRICS F20-UV #9205805 を販売中

FILMETRICS F20-UVは、半導体デバイスの製造工程で非破壊表面測定を行うために使用されるウェハ検査および測定装置です。200mmおよび300mmウェーハのスキャンが可能な全自動システムで、最大200mm/secのスキャン速度を提供します。FILMETRICS F 20 UVは、光と紫外線を組み合わせてウェーハを検査します。光学照明モードでは、白色光と可変角度の3D測定を使用して、ウェーハ全体の平坦度、ウェーハ表面形状、および表面ステップの高さを特定します。紫外線照明モードでは、紫外線、青、赤外線を使用して、結晶構造インターフェース、厚さ、フィルムの粗さ、屈折率を2nmの解像度まで識別します。F20-UVには、ウェハマッピング、欠陥検出、光学性能測定用の高度なソフトウェアもあります。ソフトウェアの自動化された減算ツールは、ウェーハ上の表面比較と局所化された欠陥の正確な識別を可能にします。このツールはまた、チューニングを必要とせずに、高速なデータキャプチャと分析を提供します。さらに、F 20 UVには、正確な濃度測定のための手動、半自動、フルオートのチャンバーターボ分子ポンプなどの高度な計測ツールが含まれています。この資産は、データロギング、分析、およびレポートのためのデータ表示および可視化ツールを統合しています。FILMETRICS F20-UVは、ハイスループットウェーハの生産に最適な包括的で費用対効果の高いソリューションです。正確で信頼性の高い結果を提供するように設計されており、効率的なプロセス管理と品質保証を可能にします。このモデルは、実験室や製造施設に最適で、使いやすく、直感的で、迅速な検査および測定装置を提供します。