中古 FILMETRICS F10-RT #293654461 を販売中

FILMETRICS F10-RTは、半導体ウェーハ上のさまざまな機能を高精度かつ高精度に測定できるウェーハ試験および計測機器です。ウェーハの厚さと層間距離の両方を測定するために、分光法と楕円法を組み合わせた非接触光学システムです。このユニットは、高精細な光学プラットフォーム、コントローラユニット、およびPCベースのソフトウェアスイートで構成されています。F10-RTの光学プラットフォームは、ウェーハ表面の非常に詳細でバランスの取れたカラービューで10倍の-100倍の倍率を提供します。また、スペクトルイメージング、メカニカルモーションコントロール、独自のFILMETRICS F10-RT光学などの特許技術を使用して、一貫した信頼性の高い測定を保証します。F10-RTのコントローラーユニットは、ユーザーフレンドリーなインターフェイス、自動データ取得とストレージ、カスタムコマンドを提供します。タッチスクリーンディスプレイと使いやすいロータリーセレクターを備えており、迅速かつ正確な選択を可能にします。このマシンは、レイヤーと厚さの両方を同時に検出するため、サイクルタイムが非常に短いと説明されています。FILMETRICS F10-RTのPCベースのソフトウェアスイートは、ツールの最先端のモジュールです。フィルム分析、断面スキャン、地形、イメージングなど、さまざまなアプリケーションのサポートが含まれています。このソフトウェアはコントローラユニットをサポートし、正確なウェーハ特性評価を可能にします。さらに、ウェーハの物理特性を高速かつ正確に測定するためのフーリエ変換赤外線（FTIR）オプションを搭載しています。F10-RT資産は、半導体製造および品質管理に特に適しています。このセンシティブな非接触検出機能により、シングルレイヤーウェーハとマルチレイヤウェーハの両方で幅広い特性を正確に測定できます。さらに、その性能とデータ収集能力により、生産歩留まりが安定していること、およびウェーハが厳しい製造要件を満たしていることが保証されます。