中古 FARO 3D Platinum #9006174 を販売中

FARO 3D Platinumは、半導体ウェーハの精密測定および試験用に設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。X方向とY方向の両方で正確な測定とZ方向の深さを提供します。それは高速空気軸受け走査のプラットホームに基づいて、精密動き制御のための精密レーザーの干渉計を組み込みます。レーザー干渉計は、3つの直交方向の相対運動と、運動の加速、減速、方向を測定します。その光学計測システムは、高度な共焦点技術に基づいており、ウェーハのプロファイルと形状、高さと粗さの正確な測定、および非均一性の検出が可能です。独自の光学ユニットは、信頼性の高い精度と再現性を備えた3D測定を提供し、その大きなスキャン範囲はすべての半導体ウェーハサイズをカバーするだけでなく、将来の半導体のトレンドに対応する柔軟性を提供します。3D Platinumマシンは、業界をリードする自動計測ソフトウェアインターフェイスと統合されており、包括的なコンポーネント試験および検査機能を備えています。プロセスパラメータ監視、欠陥解析、高解像度イメージング、自動欠陥分類、高度なコンポーネント機能の3D解析などがあります。完全なツール、ハードウェアとソフトウェアは、完全なインラインプロセスに統合するために設計されています。プロセスを開始する前にウェーハを検出および拒否し、リソグラフィ後およびCMP後のウェーハを検査することができます。自動メトロロジー測定の結果は、データログ化され、インラインプロセス制御、および統計プロセス制御に使用できます。FARO 3Dプラチナ資産は、SEMI 1463やIEO 715など、最も厳しい業界標準の要件を満たしています。これは、堅牢なコントローラと高いサンプリングレートで、信頼性の高い性能と安定性のために設計されています。これにより、製造メーカはミッションクリティカルな仕様の要求に応え、安全な製造環境で一貫したパフォーマンスを維持することができます。