中古 EPIPLUS / ETAMAX Plato #9283210 を販売中

EPIPLUS/ETAMAX Platoは、305mmまでの集積回路（IC）ウェハの特性を正確に測定するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、完全に工場でキャリブレーションされ、さまざまなウエハサイズ、厚さ、形状を扱うことができる高力多軸マニピュレータです。パワフルで精密なモーションコントロールは、高解像度の光学エンコーダを使用して、正確で滑らかで反復可能な動きを実現します。ETAMAX Platoユニットは、多数のセンサーを使用して、傷、ひび、ヒロックなどのウェーハ上の欠陥を正確に測定し、特定します。平坦度、厚さ、平坦な斜面、高さの変化など、さまざまなパラメータを測定することができます。さらに、効率の高いマシンは、スループットを向上させるために、複数のウェーハロット間で測定することができます。このツールは、自動欠陥領域特性評価（DAC）やウェハコーナー検査などの統合された機能も提供しています。EPIPLUS Platoアセットは、他の多数の試験装置と統合することもでき、より包括的な分析のために外部データと測定結果をキャプチャすることができます。結果の精度を確保するために、Platoモデルは高度なアルゴリズムとマシンビジョンを利用しています。このビジョン装置には、ウェーハ表面の変化を検出できる複数のカメラと、集積回路のパターンの欠陥が装備されています。全体として、EPIPLUS/ETAMAX Platoウェーハテストおよび計測システムは、信頼性の高い正確な測定方法を必要とするICメーカーにとって理想的なソリューションです。一貫した精度を確保し、精度の高い最小欠陥を検出して識別できるため、生産プロセスの正確な結果に頼るユーザーに最適です。