中古 EPIPLUS / ETAMAX Plato #9268808 を販売中

EPIPLUS/ETAMAX Platoは、半導体製造用の高度なウェーハ試験および計測機器です。このシステムは深さ、角度、平坦、等を含む装置変数の高精度の測定を提供します；また、高速ウェハ搬送用ハンドラや自動検査用ビジョンユニットなどの部品も内蔵しています。ETAMAX Platoは、200mmから100mmまでの幅広いウェーハおよび部品サイズの試験が可能な完全自動ウェーハ試験および計測機です。ウェーハの搬送と整列のための自動ハンドラーモジュールと、自動検査のためのビジョンツールを備えています。ハンドラーは、マガジンから最大10個の200mmウェーハを個別またはスタックでロードおよびアンロードすることができ、それらを輸送して整列させることができます。ビジョンアセットは、テスト前にウェーハの欠陥やその他の基準を検査するために使用されます。自動化されたコンポーネントに加えて、EPIPLUS Platoには、デバイスパラメータを測定するためのETAMAX計測モデルも含まれています。装置は高精度のサンプリング干渉計（SI）を使用して、正確なデバイスパラメータを測定します。EPIPLUSシステムは、ウェーハの深さ、角度、平坦度などのパラメータを測定する際に、より高い精度を可能にします。プラトンは効率的で効果的なウェーハテストと計測ユニットです。柔軟で使いやすいため、メーカーはデバイスのパラメータを迅速かつ正確に測定できます。機械はまた非常に信頼でき、精密で、一貫した結果を提供します。全体として、EPIPLUS/ETAMAX Platoは、統合されたオートメーションコンポーネントと精密測定を備えた高度なウェハテストおよび計測ツールです。半導体製造に不可欠なツールであり、デバイスのパラメータの信頼性と効率的な測定を提供します。