中古 EPIPLUS / ETAMAX PL+ M100 #9000233 を販売中

ID: 9000233
ウェーハサイズ: 2"-4"
ヴィンテージ: 2010
Photoluminescence mapping metrology system, 2"-4" Manual PL for use with blue and UV LEDs Currently set up for 2" wafers and can run 4" as well This is a combination of the EpiPlus and EtoMax hardware/software and running as an EtoMax Platom manual loading system System operates in dual mode measuring both PL and thickness at the same time System measures PL(Blue), PL (UV), PL + RF and RF Software allows for custom susceptor design to display result per wafer loaded pockets Comes with Plato User Guide & Pl + M100 Operation Manual 2010 vintage.
EPIPLUS/ETAMAX PL+M100は、高度な半導体製造アプリケーション向けの最先端ソリューションを提供する高性能ウェーハ試験および計測機器です。レーザーベースの光学計測システムを搭載しており、表面構造特性、深さ、特徴の高さから、デバイスの深さ、電界、ドーピング濃度の3次元電気測定まで、幅広いパラメータセットを測定できます。ETAMAX独自の8軸ユニットにより、従来の工具では得られない非接触測定が可能です。高解像度光学ヘッドは、フィーチャーサイズとプロファイル測定の点で優れた精度を実現します。また、ライン幅、クリティカル寸法、オーバーレイエラー、サイドウォール角度など、さまざまなパラメータを測定することができます。このツールはまた、オートフォーカス、文字認識用のOCR(光学文字認識)、光学スキャンリバーサルなど、さまざまな強力な機能を提供する統合ソフトウェアスイートを備えており、ユーザーは重要なデバイスやトレース線を簡単に測定できます。このソフトウェアは、高精度の測定を実行し、歩留まりを高めるために重要な寸法、アライメント、オーバーレイエラーを正確に制御することもできます。ETAMAX PL+M100は使いやすく、直感的なユーザーインターフェイスを備えているため、訓練を受けていないスタッフでも素早く資産を操作できます。また、ウェーハプロービング、欠陥識別、フォトレジスト厚さ測定など、さまざまなアプリケーションに使用できます。結論として、EPIPLUS PL+M100は、半導体アプリケーション向けの強力で信頼性の高いツールです。そのユニークな8軸モデルと統合ソフトウェアスイートは、プロのテストと計測ニーズに最適なソリューションです。その汎用性と使いやすさは、機器がすべてのスキルレベルのユーザーが使用できるようにします。
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