中古 EM ETAMAX UniMAP #9360878 を販売中
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ID: 9360878
Automatic reflectivity mapping system
With transformer for EU voltage, 230V
ULVAC Vacuum pump for robot
(14) Cassettes, 2"
(6) Cassettes, 4"
(6) Cassettes, 6"
Main frame:
X-Y Stage: AC Servo control
Cassette holder: 2"-6"
Operating cassette size: 2"-6"
Robot type: Auto loader
Flat zone finder
Z-Stage adjustment
Light source:
White LED: Reflectance measurement
LED Intensity monitoring: One sensor
Spectrometer:
3636 Pixels
Wavelength range: 420 nm, span: 380-800 nm
Hardware pixel resolution : 0.13 nm/pixel
Optic slit: 50 µm
USB Control
Filters and lens
Measurements:
Wafer surface uniformity
Reflectance by spectrometer
Calculated by maximum - minimum / Maximum + minimum
Calculated by standard deviation
Minimum and maximum value of reflectance
Data acquisition PC:
Operating system: Windows 7
LCD Monitor, 17
Sorting function:
PSS Uniformity / Reflectance mapping
Power supply: 220 V, 30 A, 3-Wires
CDA: 0.2 ~ 0.4 Mpa.
ETAMAX EM ETAMAX UNiMAP装置は、半導体ウェーハおよびチップの電気的および物理的特性を測定するための包括的なソリューションを提供するウェーハ試験および計測ツールです。このシステムは、ウェーハの設計から分析まで、あらゆる側面をカバーし、ウェーハがすべての業界標準と仕様を満たしていることを保証します。ETAMAX UniMAPは、プロセス制御、試験計測、計測の3つのコアモジュールで構成されています。プロセス制御は、AutoCellテクノロジーを使用して、プロセスパラメータとテスト条件を正確かつ正確に制御します。これにより、お客様が指定した仕様に合わせてウェーハを製造することができます。試験装置には、ウェーハのさまざまな電気特性（抵抗、静電容量、漏れ電流など）を測定するために使用される、さまざまな特殊な自動工具が含まれています。測定は、厚さや曲率などの物理的なウェーハパラメータを測定するために使用されます。また、ウェーハの性能に影響を与える可能性のある欠陥を検出するために使用されます。ETAMAX EM ETAMAX UniMAPを使用してウェーハをテストする場合、テストシーケンスを設定して、評価したい特性を測定できます。このユニットは、コンタクトイメージング、フォース、サーマルスキャンなど、データを収集するためのさまざまな方法を提供します。必要に応じて、データの分析、過去の仕様との比較、是正措置の推奨などにも使用できます。ETAMAX UniMAPは、業界で最も先進的なウェーハテストおよび計測システムの1つであり、ユーザーに卓越した精度と信頼性の高いウェーハ評価プラットフォームを提供します。このツールは非常に効率的で、生産ラインでのウエハテストに最適です。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと直感的なコントロールパネルにより、ユーザーフレンドリーで使いやすいです。さらに、ソフトウェアはPC上で動作するため、専用ハードウェアは不要です。ETAMAX EM ETAMAX UNiMAPは、強力で信頼性が高く、費用対効果の高いウェーハテストおよび計測資産であり、半導体ウェーハおよびチップの測定および評価に関する包括的なソリューションをユーザーに提供します。その高度な機能と包括的な機能により、正確で信頼性の高いウェーハ処理に信頼性の高い選択肢となります。
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