中古 DNS / DAINIPPON VM-8200 #9374928 を販売中

DNS/DAINIPPON VM-8200は、商用ICおよびMEMS製造用に設計されたウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、非接触測定、ナノメートルスケールイメージング、多次元電気試験、光学検査など、幅広い計測および試験機能を備えています。DNS VM-8200には、近赤外線、多波長、偏光イメージングなどの光学機能が強化されています。これらのイメージング機能により、DAINIPPON VM 8200は、さまざまなウェハサーフェス上の幅広いテクスチャ、形態、光学特性を高精度でキャプチャできます。さらに、広範な電気試験機能を搭載しており、大小の回路の試験が可能で、複数の電流および電圧測定方法を含む。これらの電気試験機能は、さまざまなアプリケーションのための3D電圧マッピングと電流密度マッピングと組み合わされています。また、VM 8200は非接触オーバーレイ測定を備えており、高精度のパターン配置とオーバーレイ配置の検証を可能にします。オーバーレイのバリエーションを8nm以下で測定でき、ウェーハ表面の3D画像を提供して比較解析が可能です。さらに、VM-8200のナノメートルスケールイメージング機能により、断面とトップダウンの両方のビューで3nm以下から50µmまでの詳細なSEM画像をキャプチャできます。テストの精度と再現性を最大限に高めるため、データ取得、処理、解析のための特殊なアルゴリズムとプロセスをVM-8200しています。さらに、このツールは、フレーム内のウェーハ間の識別と差別化を支援する自動ウェーハ識別機能のセットを提供します。このウェーハ識別方法は、手動入力なしでより迅速かつ正確な測定を実現します。全体として、DNS/DAINIPPON VM 8200は、商用ICおよびMEMS製造用のオールインワンテストおよび計測資産です。高精度な2Dおよび3Dイメージング、電気試験、非接触オーバーレイ測定が可能です。さらに、自動化されたウェーハ識別機能とプロセス最適化アルゴリズムにより、信頼性の高い正確な結果が得られます。