中古 DNS / DAINIPPON VM-2010 #9134045 を販売中

DNS / DAINIPPON VM-2010
ID: 9134045
ウェーハサイズ: 8"
Thickness measurement system, 8".
DNS/DAINIPPON VM-2010は、プロセスおよび生産レベルの測定および分析のために設計されたウェーハ試験および計測機器です。DNS VM-2010には、大日本VM 2010デジタルメトロロジーシステム(DMOS)、光学顕微鏡オートユニット(OMAS)、走査電子顕微鏡ユニット(SEMU)など多数のコンポーネントが組み込まれています。DAINIPPON VM-2010 DMOSは、ライン幅、ゲート導体高さ、サイドウォール角など、さまざまな測定を行うように設計されたAcculine高度光学計測機で構成されています。OMASは、3Dイメージングと解析を可能にする自動ステージとオートフォーカス機能を備えた高分解能の光学顕微鏡ツールです。SEMUは、解像度1nmまでのライブイメージングモードとダイナミックイメージングモードをユーザーに提供します。VM 2010には、欠陥レビューや光学フォルト絶縁など、さまざまな機能も搭載されています。欠陥レビュー機能はウェーハ欠陥解析に使用され、光学フォルト絶縁能力はウェーハ内の欠陥を正確に分離するために使用されます。また、ウェーハの平坦度、表面粗さ、接触抵抗、ゲート幅、オーバーレイ、イメージコントラストの評価に使用できる測定もVM-2010ます。DNS VM 2010は、ウェーハ製造プロセス中に効率的で正確なウェーハテストと計測をユーザーに提供するように設計されています。DNS/DAINIPPON VM 2010を使用することで、ウェーハ内の潜在的な欠陥を迅速かつ効果的に特定することができ、製造プロセスに長い時間を要することなく是正措置を講じることができます。アセットは非常に柔軟性があり、さまざまな種類のウェーハやプロセスでカスタマイズされた設定と分析が可能です。全体として、DNHDNS/DAINIPPON VM-2010は強力で汎用性の高いウェーハテストおよび計測モデルであり、さまざまなプロセスやウェーハにわたる迅速かつ正確な分析をユーザーに提供します。高度な計測コンポーネントから汎用性の高い分析機能まで、DNS VM-2010はウェーハテストと計測に非常に効果的なツールです。
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