中古 DNS / DAINIPPON / SCREEN WS-8200 #9384147 を販売中

DNS / DAINIPPON / SCREEN WS-8200
ID: 9384147
System.
DNS/DAINIPPON/SCREEN WS-8200ウェハテストおよび計測機器は、半導体およびフラットパネルディスプレイ製造に使用される先端技術プラットフォームです。独自の非接触光学検査法を使用して、製造前、製造中、および製造後の欠陥をチェックします。システムの中心には、最先端の2Dおよび3D非接触光学検査ユニットがあります。試料表面からの形状、不規則性、欠陥、散乱光を正確に測定し、リアルタイムで分析してオンザフライ欠陥検出を行うことができます。また、幅広い並列化機能を備えており、サンプリングと検査レートをお客様のニーズに合わせて最適化できます。また、独自のNビームイルミネーションツールなど、さまざまな回折や散乱形状の欠陥を検出する高度な技術を使用しています。高度な非接触光学検査システム(ONCIS)は、これらの欠陥をリアルタイムかつサンプル破壊がほとんどない状態で検出するために使用されます。アセットはまた、欠陥や不規則性のためにサンプルの表面プロファイルを分析するために、一連の座標測定および計測技術を使用しています。3D非接触光学検査および計測モデルは、高さ、深さ、幅、斜面、表面プロファイルなどの地形や3次元特性を測定するためにも使用できます。これにより、迅速な最初の記事のテストと同様のチェックが容易になり、物理的なサンプルを処理する必要がなくなり、時間とコストを節約できます。DNS WS-8200には、物理パラメータを測定し、欠陥の局在化を支援する自動レーザースキャン顕微鏡も装備されています。これにより、検査スループットを最適化し、誤検出を低減し、分析および診断に使用できるより正確な測定を可能にします。SCREEN WS-8200では、欠陥画像をリアルタイムで解析するためのさまざまなソフトウェアツールも提供しています。このデータは、欠陥低減とライン歩留まり改善のためのプロセスパラメータを最適化するために使用できます。さらに、装置は、動作中のデバイス特性を監視するための包括的なビデオおよびイメージツールを提供しているため、品質管理の意思決定を早期に行うことができます。全体として、WS-8200ウェハテストおよび計測システムは、半導体およびフラットパネルディスプレイ製造に使用される先進技術プラットフォームであり、幅広い非接触光学検査および計測技術とさまざまなソフトウェアツールを組み合わせて、ラインの歩留まりを改善し、誤検出を減らし、物理サンプルを処理する必要性を最小限に抑えます。
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