中古 DNS / DAINIPPON LAW-820 #9091952 を販売中
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DNS/DAINIPPON LAW-820は、高度な半導体デバイスの生産試験および特性評価用に設計された最先端のウェーハ試験および計測機器です。高精度の自動マッピング機能を備えており、ダイ、基板、ピックアップ信号の正確な測定と評価が可能です。DNS LAW-820は、ダイライン、パターン、構造などウェハの特徴を高精度かつ高精度に測定することができます。最新の測定技術を使用して、欠陥や構造の不規則性を計算およびグラフィカルに表示するために使用されるウェーハのポイントバイポイントマップを生成します。最大生産スループットを実現するウエハハンドリングユニットを内蔵し、最大11個のウエハサイズを同時に処理することが可能です。また、XY軸とZ軸の両方でウェーハを正確にアライメントするためのウェーハ温度補償アライメントマシンをLAW-820しています。これにより、最も狭いラインから広いラインまで、ウェーハの特徴を正確に測定できます。振動のない振動吸収力学と振動吸収力学の両方を追加することで、このツールはデバイスの最も繊細な領域で非常に小さな欠陥を捕捉することができます。高精度なマッピング機能に加えて、LAW-820は迅速なスループットを促進するように設計されています。これは、測定と制御のための高度なオートメーションソフトウェアの統合によって達成されます。このアセットは、シングルパススキャンで1時間あたり最大4,000個のウェーハを処理することができ、ウェーハのタイムリーかつ効率的な分析を可能にします。要するに、DNS/DAINIPPON LAW-820は強力で汎用性の高いウェーハテストと計測モデルです。その高度なマッピング技術は、ダイ、基板、ピックアップ信号の正確な測定と評価を可能にします。ウェーハの特徴を正確に測定するための温度補償アライメント装置と、迅速なウェーハ解析のための自動スループット機能を備えています。DNS LAW-820は、幅広い機能を備えており、高度な半導体デバイスの生産試験および特性評価に最適なシステムです。
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