中古 DNS / DAINIPPON LAW-815A #9051403 を販売中

DNS / DAINIPPON LAW-815A
ID: 9051403
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1993
RTA Systems, 6" 1993 vintage.
DNS/DAINIPPON LAW-815Aは、半導体ウェハテストおよび分析用のウェハテストおよび計測機器です。最大300mmウェーハの非破壊解析に使用されます。これは、ウェーハ上の不良トランジスタ、ワイヤ、およびその他のコンポーネントの正確な検出とローカライズのための高度なレーザー光学を利用しています。DNS LAW-815Aシステムには、欠陥解析などの分析機能用の超高解像度カメラを備えたウェハ検査プラットフォームがあります。カメラは精密な操作ユニットと統合されており、ウェーハ表面の特定の関心のある場所に正確に焦点を合わせることができます。このユニットには、3段階のウェーハ欠陥検出アルゴリズムも含まれています。第1段階はパターン化されていない欠陥の検出に焦点を当て、第2段階はパターン化された欠陥を探し、第3段階は欠陥の種類の分類に役立ちます。また、ダイニッポンLAW-815Aは、ウェーハデータから信号特性を特定して計算するための高出力シグナルインテリジェンス(SIC)機能も備えています。これにより、欠陥の詳細な分析が可能になり、ウェーハプロセス全体の歩留まりが向上します。さらに、温度、湿度、粒子濃度などのプロセスパラメータの測定も可能です。LAW-815Aは、各ウェーハの500種類以上の欠陥を検出し、分析することができます。また、2Dイメージング、X線回折、高分解能顕微鏡、原子力顕微鏡(AFM)など、さまざまな試験プロトコルもサポートしています。高度なスキャンおよびマッピング機能により、その精度と精度がさらに向上します。DNS/DAINIPPON LAW-815Aは、信頼性と費用対効果の高いテストソリューションです。大量の生産ラインや大規模なウェーハプロセスをサポートするように設計されています。その高度な機能と精度により、欠陥検出の最も正確で信頼性の高い測定が保証され、半導体業界に不可欠な要素となっています。
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