中古 DNS / DAINIPPON Lambda Ace VM-2200 #293664935 を販売中

DNS/DAINIPPON Lambda Ace VM-2200は、ウェーハからダイレベルまでの高度な計測用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。半導体プロセスの進歩に伴い、ナノメートルおよび10ナノメートルのレベルでパターン特性を測定する能力が常に必要です。VM-2200は、この要求を満たす統合された試験および計測システムです。ユニットの光学レイアウトは、超高速レーザースキャン機に基づいており、最高の調査速度と正確な試験結果を提供します。このプラットフォームは、シリコン、GaAs、 TIMS（薄膜半導体の一種）など、さまざまな種類のウェーハと互換性があります。このツールは、2つのステージ、4つのポート、およびハイエンドイメージプロセッサからなる大容量を備えています。この構成により、複数のウェーハを同時にテストすることができます。ハイエンドプロセッサは、複雑な画像データを迅速に処理できます。これは従来のスキャンウエハ顕微鏡とは対照的で、プロセッサの速度が遅い個々の画像解析が必要です。レーザーベースのアセットのため、画像取得速度もはるかに高速です。VM-2200には、計測および光学検査用の専用ソフトウェアスイートもあります。ソフトウェアは、ウェーハデータの効率的な分析だけでなく、テストパラメータの調整を可能にします。このソフトウェアは、ユーザーが各アプリケーションのモデルを微調整することができます。さらに、このソフトウェアは、リアルタイムでデータを分析し、自動化されたレポートを生成するためのインターフェイスも提供します。さらに、装置には高度な制御と正確な測定を提供する高度な機能が装備されています。これらの特徴は、統合された散乱計、線の幅と線のステップの正確な測定を可能にするだけでなく、薄膜の厚さを測定するための位相シフト干渉計を含みます。さらに、システムには、アプリケーションごとに機械を迅速かつ正確にキャリブレーションする自動アライメントユニットが含まれています。DNS Lambda Ace VM-2200は、ウェーハの高速かつ高精度な測定に最適なツールです。洗練された機能と直感的なユーザーインターフェースを備えたVM-2200は、ナノメートルおよび10ナノメートルの高度な計測アプリケーションに最適です。