中古 CYBEROPTICS EX-43Q #9079803 を販売中

CYBEROPTICS EX-43Qは、直径3インチまでのウェーハ用の高精度な寸法および地形プロファイリングを提供する非接触光学ウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、高度なプロファイリングアルゴリズムと高出力レーザダイオードを組み合わせて、高速で高解像度の測定を提供します。EX-43Qは信頼性が高く堅牢で、自動プロービングと手動テストの両方に最適です。このユニットはファイバーブラッググレーティング（FBG）光学ヘッドを使用し、ウェーハから15mmのスタンドオフと90mmの焦点距離で焦点深度を追加します。この光学ヘッドは、470mm x 470mmのワークスペース、200mmのリフト範囲、および0.1µmのアライメント精度を備えた電動XYステージに接続されています。これらの機能を組み合わせることで、堅牢で一貫したウェーハ測定と高い再現性を実現します。このマシンは、スキャン速度5。25m/sec、最大加速度1。3m/s2を発揮するとともに、0。05mm〜3。0mmの範囲のウェーハ平坦度にわたる全幅の3µmの精度を半分（FWHM）で提供するように設計されています。また、CYBEROPTICS EX-43Qは、画像データをJPGやTIFFファイルなどのグラフィカル形式で保存したデータ閲覧・記録を提供しています。このツールは、メンテナンスや介入を最小限に抑える必要があるため、本番環境の拡張に適しています。EX-43Qは非常に構成可能であり、クローズドループサーボ電動検査ヘッドや自動ウェハキャプチャアクセサリなどの追加オプションを使用して、複数の設定で使用できます。全体として、CYBEROPTICS EX-43Qウェーハテストおよび計測資産は、信頼性の高い正確な結果を効率的かつ費用対効果の高い方法で提供します。エア・アシストされた非接触設計はサンプルの摩耗を軽減しますが、拡張性と構成性により、さまざまな自動および手動のテスト・シナリオに最適です。