中古 COHERENT LaserCam-HR #293609595 を販売中

COHERENT LaserCam-HR
ID: 293609595
Beam measuring system P/N: 1068156.
COHERENT LaserCam-HRは、ウェーハやその他の薄い物体の正確な測定を可能にする自動ウェーハ試験および計測装置です。レーザーとデジタルイメージングの組み合わせにより、高解像度のイメージングと測定機能を提供します。具体的には、照明用に受動安定化されたQスイッチレーザーを採用し、大判のPeltier冷却インターライン伝達CCD(チャージカップリング装置)イメージングをフォトグラメトリ用に使用しています。LaserCam-HRユニットの高度なアーキテクチャにより、1/2ミクロンの解像度でミクロンレベルの精度と再現性を実現し、今日の高精度ウェーハ測定に最適です。高速ガルバノメータースキャナーにより、高精度なレーザー支援イメージング自体がリアルタイムで自動化されます。レーザービームをプログラムされたパターンでウェーハ表面に移動させることで、高解像度の画像を取得することができます。このイメージングプロセスは、表面プロファイルや特徴測定、フラックス計測、イメージング欠陥検査など、さまざまな高度な機能をサポートします。このツールには、そのパフォーマンスをさらに高めるさまざまな高度な機能が含まれています。ウェーハトラッキング、正確なビームパワー制御、高度なサンプル測定アルゴリズム、再測定機能などがあります。この幅広い機能により、ウェーハ基板の精密な自動測定に特に適しています。COHERENT LaserCam-HRモデルはまた、後処理機能の印象的なリストを誇っています。これらには、スクリプト可能な測定テンプレートのライブラリ、広範な統計パッケージ、および統合されたレポート生成装置が含まれます。さらに、このシステムは、業界標準のインタフェースを介して、既存のシステムやワークフローに簡単に統合できます。全体的に、LaserCam-HRは、ウェーハやその他の薄い物体を測定するための高性能で正確で信頼性の高いユニットです。その高度な機能、高解像度イメージング機能、後処理オプションが組み合わされ、今日のウェーハテストおよび計測ニーズに最適なソリューションとなります。
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