中古 CDE RESMAP 178 #293639677 を販売中

CDE RESMAP 178は、幅広い機能を備えた最先端のウェーハ試験および計測機器であり、半導体ウェーハ計測およびプロセス監視のアプリケーションに最適です。その強力なイメージング機能により、優れた結果を持つウェーハレベルの特性とパラメータを正確に測定できます。このシステムは、サブナノメートル分解能を持つ78チャネル電子ビーム（EB）カラムで構成されています。半導体ウェーハの表面の微妙な変化を検出することができる高解像度、高感度のCCDカメラと組み合わされています。これにより、エッチング深さ、幾何学的形状、プロファイル特性、パターニングおよびドーピング特性などのさまざまなパラメータを測定するための効果的なツールとなります。また、輪郭マッピング、エッジ検出、アステリズム解析、SEMイメージング、パラメトリゼーションなどの総合的な計測ツールも備えています。これらのツールは、最小のサーフェスフィーチャーを検出して測定し、オペレータがプロセスの傾向を特定するのを助けるように設計されています。その高度なイメージング機能に加えて、マシンはまた、ユーザーフレンドリーなコントロールと機能の範囲を提供しています。これらには、測定パラメータの手動および自動制御、幅広いアライメントシステムのサポート、複数の座標系、カスタマイズ可能な表示パラメータ、および自動データロギングが含まれます。全体として、CDE RESMAP178ウェーハテストおよび計測ツールは、ウェーハプロセスの監視と欠陥解析のための強力なプラットフォームを提供します。フォーカス深度の設定、半自動画像比較などの機能により、ウェハレベルの計測能力を向上させたい半導体メーカーにとって理想的なソリューションとなります。