中古 CANON IUC Meter for MPA 500 #293626985 を販売中

CANON IUC Meter for MPA 500は、半導体ウェーハの全体的な形状と電気特性を精度と精度で測定するために設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。ナノメートルレベルまでのウェーハのイメージングが可能で、欠陥や異常を測定するための幅広い機能を備えています。このシステムには、高解像度の光学顕微鏡と共焦点レーザー顕微鏡（CLM）が搭載されており、ウェーハの単結晶構造を画像化して解析することができます。この顕微鏡は、フィーチャーファセットを検出し、リッジエッジや平面などのさまざまな表面詳細を分析できます。このユニットは、ウェーハの電流電圧（I-V）特性曲線の測定を用いた電気故障解析にも使用できます。これにより、故障電圧や充電注入などのパラメータを測定できるため、電気的欠陥の検出と特性評価が可能になります。また、MPA 500は、ウエハフィルムの厚さ（WFT）を内蔵しており、ウエハ上の絶縁膜の厚さを測定することができます。レーザーキャプチャWFTツールは、ナノメートル、ミクロン、ミルの厚さを測定するなど、幅広い測定機能を備えています。このアセットにはロボットウェハハンドリングモデルも付属しており、複数のウェハーの機器への自動ロードとアンロードが可能です。ロボットシステムは、ウェーハを1つのステーションから次のステーションに移動する2つのコンベアベルトで構成されています。このユニットにはHyTools-DWと呼ばれる高度なソフトウェアがあり、これはウェーハテストと計測のための自動データキャプチャおよび分析ソフトウェアです。これにより、テストプロセスを大幅に制御し、測定レポートを簡単に生成できます。最後に、IUC Meter for MPA 500には、オートフォーカスやオートプランアライゼーションなど、ウェハを分析する際の安定性と精度を向上させるいくつかの事前機能が含まれています。このマシンには、ツールの機能と機能の包括的な概要を説明する詳細なマニュアルも含まれています。全体として、CANON IUC Meter for MPA 500は、高度なウエハテストおよび計測資産であり、高い精度と精度、そしてさまざまな革新的な機能を提供します。幅広い機能と高度なソフトウェアにより、あらゆるタイプの半導体ウェーハの特性評価および分析に不可欠なツールです。