中古 CANDELA OSA 5100 #9394284 を販売中

CANDELA OSA 5100は、さまざまなウェーハサイズとプロセスの精密測定と歩留まり解析を提供するウェーハテストおよび計測機器です。光学システムには、APR （Automated Pattern Recognition）とADP（自動欠陥検出処理）スキャンツールと技術で構成される独自の光学ビジョンユニットが搭載されており、直径8インチから13インチまでのウェーハを最大25個まで正確に検査できます。4点非接触測定機能は正確な測定を保証し、高解像度のイメージングマシンは非常に詳細な分析を可能にします。スキャンヘッドには、ユニークな組み合わせレーザーランプと高解像度カメラが含まれており、自動欠陥検出と分析を可能にします。また、Laser Ablation for Detect-Reidentification （LADR）技術を使用したウェーハのスキャンもサポートしています。これにより、さまざまなレーザーバーンまたはパターン化された機能を正確に認識して分類することができ、歩留まり管理が強化されます。このアセットは、重要な欠陥数、分割とマージ、製品ビニング、利得/損失データ、およびその他のカスタムサービスおよび分析のためのウェハマップ分析も提供します。OSA 5100モデルは、層厚、CD計測、反射率、抵抗率、漏れ検出など、熱間計測と冷間計測の両方を実行します。この装置には、自動ウェーハスキャンのための「高度な制御」システムが装備されており、バッチまたは連続モードのいずれかでウェーハを効率的かつ正確にスキャンするためのリアルタイム環境で動作します。オペレータはまた異なった適用のためのテスト変数をカスタマイズし、より精密な結果を得るために単位を手動で制御できます。さらに、リアルタイムウェーハアライメントコントロールにより自動フォーカスアダプティブスキャン/解析（FAS/FA）をサポートし、ウェーハごとにレーザスキャン可能な最適なフォーカスポイントを提供します。この多次元アライメント制御プログラムは、お客様の指定された基準を満たすようにプログラムされており、内蔵のインテリジェンスに基づいており、レーザースキャン可能なウェーハメトロジーの精度を向上させます。全体として、CANDELA OSA 5100ツールは信頼性の高い汎用性の高いウェハテストおよび計測資産であり、歩留まり管理を強化し、一貫して正確な結果を達成するためのさまざまな機能を提供します。半導体ウェーハ製造プロセスのための効率的なツールであり、あらゆる製造ラボに重要な追加です。