中古 CANDELA OSA 5100 #293604704 を販売中

CANDELA OSA 5100ウェーハ試験・計測装置は、ウェーハなどの半導体材料の特性を測定・分析するための高機能で汎用性の高いシステムです。分光、回折、反射、干渉などの様々な光学技術を用いて、ウェハの厚さ、均一性、質感などの特性を測定します。OSA 5100には、大口径スキャンヘッド（NA）を搭載し、幅広いウエハサイズを高精度に測定できます。電動ステージを備え、最小ステップサイズ0。75nmで最大100 µm/sの走行速度を実現し、高精度な測定を実現します。また、CANDELA OSA 5100には高解像度カメラと6インチモニターを搭載し、測定時にウェーハ表面を精密に観察することができます。さらに、このユニットは複数のポートを備えており、プローブヘッド、研削ヘッド、レーザーソースなどの外部デバイスを統合することができ、マシンにより多くの機能を提供します。OSA 5100には、測定を制御、監視、分析するための高度なソフトウェアもあります。厚さ、深さ、反射率、表面トポグラフィ、応力、層の厚さ、表面粗さ、その他のウェハーパラメータなど、いくつかの事前構成された測定モードを提供します。また、測定パラメータをカスタマイズすることができ、異なるフィーチャータイプを正確に分析することができます。最後に、アセットはPDFやDICOMなどの複数のデータエクスポート形式を可能にします。すべての測定データをCANDELA OSA 5100の内部データベースに保存して長期保存することができ、簡単なアクセスとレビューが可能です。OSA 5100のこれらの機能により、ウェーハテストと計測のための高信頼性で効率的なモデルとなります。