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ID: 9151709
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2010
Shallow probe metrology system, 12"
EFEM
(2) Load ports
Display unit
Side and blower panel
Light curtain frame
2010 vintage.
CAMECA Lexfab 300は、さまざまなウェーハパターン、構造、材料を分析するために設計された高度なウェーハテストおよび計測機器です。システムの直感的なソフトウェアガイドワークフローにより、ウェーハテストと計測を迅速、正確、かつ簡単に実行できます。CAMECA LEXFAB300は、基本計測からナノメートルスケールまで幅広いウェーハ解析機能を備えたスケーラブルで高性能なユニットです。光学イメージング、X線イメージング、暗視・光野顕微鏡、差動干渉対照顕微鏡、メインボードスキャンなど、ウェーハを監視・測定するさまざまなツールを搭載しています。このツールは、150ナノメートルのサイズの機能を検出することができます。LEXFAB-300の主な特徴は、4軸アライメントのアセットです。このモデルのモーター式アライメントテーブルは、視野角を正確に設定および調整することができ、さまざまな方向での正確な画像解析とウェーハテストを可能にします。この柔軟性により、さまざまな角度からさまざまなチップやウェーハを使用して幅広い実験を行うことができます。Lexfab 300はユーザーフレンドリーに設計されており、ユーザーは機器の操作をすばやく学ぶことができます。このシステムには、ディスクイメージを簡単に分析するためのさまざまなソフトウェアパッケージや分析ツールも含まれています。これらの機能により、CAMECA LEXFAB-300はウェーハの監視と検査、および貴重な生産計測データを提供する優れたソリューションです。安全・メンテナンス面では、緊急スイッチや自動安全シャットオフ機能など、人員の保護を確保するためのさまざまな安全機能を備えています。さらに、CAMECAは、マシンがピーク状態のままで、一貫して正確なデータを提供LEXFAB300ために、一連のメンテナンスプログラムを導入しています。CAMECA Lexfab 300は、ウェハテストと計測のための信頼性が高く使いやすいツールを探している半導体およびディスプレイ業界の大手メーカーに広く採用されています。CAMECA LEXFAB300は、包括的な機能とさまざまなテスト機能により、ウェーハの精度と信頼性を確保したい企業に最適です。
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